中微起诉Veeco上海专利侵权,中微获得关键胜利

　　Veeco获针对SGL初步禁令，中微半导体将受影响，该禁令禁止SGL出售供采用了Veeco专利技术的无基座金属有机化学气相沉积系统（MOCVD）使用的晶圆承载器，包括专为AMEC MOCVD系统设计的晶圆承载器。中微半导体在起诉Veeco上海专利侵权的涉案专利迎来了阶段性的关键胜利。

　　中微半导体设备（上海）有限公司（以下简称“中微”）迎来了阶段性的关键胜利：国家知识产权局专利复审委（以下简称“专利复审委”）于今天作出审查决定书，否决了维易科精密仪器国际贸易（上海）有限公司（以下简称“Veeco上海”）关于中微专利无效的申请，确认中微起诉Veeco上海专利侵权的涉案专利为有效专利。

　　中微于今年7月向福建高院正式起诉 “Veeco上海”，指控其TurboDisk EPIK 700型号的MOCVD设备侵犯了中微的基片托盘同步锁定的中国专利，要求其停止侵权并主张上亿元侵权损害赔偿。

　　在中微起诉后，Veeco上海对该涉案的中微专利向专利复审委提起无效宣告请求；与此同时，还有一位自然人也对该涉案专利提起无效宣告请求。针对涉案专利的两个无效宣告请求，专利复审委先后分别开庭审理，双方代理人进行充分答辩，专利复审委于今日对两个无效宣告案分别作出了审查决定，均确定认中微专利为有效专利。

　　中微专利经受两次专利无效宣告的挑战后，仍被专利复审委确认为有效专利，这充分证明了中微专利的技术创新性和专利权稳定性。中微为此关键技术投入了大量的研发费用和知识产权保护。在中微开发相关技术、并有一系列相关专利申请布局后数年，Veeco美国公司才随之应用相同技术解决方案，在中微申请该涉案专利之后，Veeco美国公司针对该关键技术也提交了相近的专利申请，并使用于其EPIK 700产品上，由此侵犯了中微的专利权。

　　“我非常高兴地看到专利复审委确认中微专利的有效性，这是对中微研发团队持续创新和知识产权保护的肯定。”中微董事长兼首席执行官尹志尧博士说：“作为一家向国际一流芯片和LED及功率器件生产厂商提供高端制造设备的供应商，中微自2004年成立以来，一直高度重视知识产权，一向独立自主开发技术和确立知识产权地位，同时也极其尊重客户和竞争对手的知识产权。因此，十多年来，中微在几次国内外知识产权诉讼纠纷中，经受住了考验，一直处于不败之地。我们认为中微的知识产权也应当获得同样的尊重。我们不能容忍对中微专利的侵权。中微为此将积极捍卫自己的权利。任何侵权行为都应当得到相应的惩罚。”

　　Veeco美国公司在美国纽约东区地方法院对中微的基片托盘供应商提起专利侵权诉讼，而法院法官在未能有机会全面了解专利无效证据、未对Veeco美国的专利有效性和基片托盘是否真正侵权作出明确判断的情况下，极其罕见地发出了禁止基片托盘供应商给中微提供托盘的临时禁运令。中微正在采取多项有效措施全力减少禁令的影响。

　　事实上，涉案的Veeco美国专利技术早在60年代开始就被大量前置专利公开，距今已有五十年的历史，因而，中微认为Veeco美国的涉案专利不符合专利法要求，应属无效专利。中微已经对该涉案专利的中国同族专利、韩国同族专利提交了专利宣告无效请求。

　　中微资深副总裁、首席运营官兼MOCVD产品事业部总经理杜志游博士说：“我们对美国纽约东区地方法院作出临时禁令表示非常遗憾。我们相信我们的供应商最终会赢得这场专利诉讼；我们还相信中微也会赢得对Veeco上海的专利诉讼，Veeco上海要为其侵权行为付出代价。”

　　中微公司致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微通过创新驱动自主研发的等离子体刻蚀设备和硅通孔刻蚀设备已在国际主要芯片制造和封测厂商的生产线上广泛应用于45纳米到7纳米及更先进的加工工艺和最先进的封装工艺。目前，正在亚洲地区30多条国际领先的生产线上运行的中微反应台（包括介质刻蚀、TSV、MOCVD）已超过600个。中微开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备也已在客户生产线投入量产。