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微型传感器的近场辐射传热实验
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2018-02-02
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具有一定温度的物体在其内部电子和离子的热运动的作用下会不断地从物体表面辐射出电磁波，在不同温度的物体之间由于温度差会导致其间的辐射传热。进一步的，当上述物体的间距同等温度下黑体辐射的主波波长时（黑体温度300 K，热辐射主波波长为10 Um）会出现辐射传热明显增强的现象，即两物体间发生了近场热辐射现象。自20世纪60年代末发现近场热辐射现象以来，国内外科研团队基于微型探针技术开发了一些实验测量方法，同时也有团队采用低导热材料或悬空薄膜结构开展了近场辐射传热的实验测量例。本文作者是利用悬空薄膜结构微型传感器开展近场辐射传热测量实验的设计者之一，当时的实验目的是减少近场热辐射现象对微米纳米结构传感器绝热性能的影响，为传感器结构设计提供参考。本文将以二氧化硅材料为例阐述传感器设计过程，为利用微型传感器面向不同材料开展近场辐射传热测量提供参考。
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