什么是等离子体

以下文章来源于Tom聊芯片智造，作者Tom

知识星球(星球名：芯片制造与封测技术社区，星球号：63559049)里的学员问：在PVD镀膜中，可以看到工艺腔室中发出各种颜色的光，请问原理是什么?

什么是等离子体?

等离子体，英文名称plasma，是物质的第四态，其他三态有固态，液态，气态。在半导体领域一般是气体被电离后的状态，又被称为‘电浆’，具有带电性和流动性的特点。

等离子体的组成?1，电子：等离子体中通常包含大量自由电子，自由电子是等离子体的主要组成部分，能够引发气体的电离。

2，离子：等离子体中存在正离子和负离子，例如Ar气在电子轰击下会失去一个电子，形成Ar+^+，Cl2_22分子通过获得电子形成Cl−^-。

3，自由基：自由基是等离子体中化学活性很高的中性粒子，自由基可以与材料表面发生化学反应，用于清洗、刻蚀等工艺。

4，光子：体现在我们看到的不同颜色的光线。

5，中性粒子：指的是未电离的气体分子，它们在等离子体中不会受到电场的直接作用。中性粒子可以与其他自由基或离子发生碰撞，并参与化学反应，

等离子体为什么会发光?

高能电子与气体分子发生碰撞时，会将一部分能量传递给原子，使其内部的电子跃迁到更高能级的激发态。激发态的分子会在极短的时间内回到较低的能级。在返回的过程中，它们会释放出多余的能量。这种能量释放是以光子的形式发出，这些光子具有特定的波长，因此具有特定的颜色。