粗糙度轮廓仪的测量原理根据其类型主要分为以下两种:
1. 接触式粗糙度轮廓仪:
原理:使用钢制或金属制的探针,在一定的压力下,对工件表面进行扫描。当探针在被测表面移动时,触针会随着表面的微观起伏而上下移动,这种位移变化通过传感器转化为电信号。电信号经过放大、运算处理等步骤后,再转换成数字信号储存在计算机系统中。计算机对原始表面轮廓进行数字滤波,分离掉表面粗糙度成分后进行计算,最终得出符合某种曲线的实际值及其离基准点的坐标,或者得到放大的实际轮廓曲线。
举例:比如常用的SJ5730高精度探针式轮廓仪,通过上述过程可测量出轴承内外侧等零件的表面粗糙度和轮廓。
2. 光学式粗糙度轮廓仪(如白光干涉仪):
原理:利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量。两束相干光间光程差的任何变化会灵敏地导致干涉条纹的移动,而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起。所以通过干涉条纹的移动变化可测量几何长度或折射率的微小改变量,以此来获得被测表面的形貌信息,进而测得表面的粗糙度。
举例:SuperView W1光学3D表面轮廓仪(白光干涉仪)可用于评估物体表面的粗糙度。
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