单面抛光吸附垫是什么？

单面抛光吸附垫是抛光技术领域中的一种重要配件，主要用于晶圆等半导体材料的单面抛光过程中。以下是对单面抛光吸附垫的详细介绍：

 

一、定义与功能

单面抛光吸附垫是指放置在抛光机器上的一层具有吸附性的材料，通常为橡胶或其他特殊材质制成。它的主要功能是吸附抛光过程中产生的粉尘和碎屑，防止它们进入机器内部导致故障，同时确保抛光面的清洁和平整，从而提高抛光效率和产品质量。

 

二、材质与特性

材质：单面抛光吸附垫的材质通常为橡胶或其他具有优良吸附性能的材料。这些材料不仅具有强大的吸附能力，还能在抛光过程中提供适当的摩擦力和耐磨性。

特性：

吸附性：能够有效吸附抛光过程中产生的粉尘和碎屑，保持抛光面的清洁。

耐磨性：具有较高的耐磨性，能够承受抛光过程中的摩擦和磨损，延长使用寿命。

易清洁：方便清洗和更换，降低了抛光机的维护成本。

 

三、结构与设计

单面抛光吸附垫的结构设计通常考虑以下几个方面：

 

厚度：吸附垫的厚度应适中，以确保足够的吸附能力和耐磨性。一般来说，厚度为2mm左右较为合适。

尺寸：吸附垫的尺寸应与抛光机的尺寸相匹配，以确保良好的贴合度和使用效果。

表面处理：为了提高吸附能力和耐磨性，可以对吸附垫的表面进行特殊处理，如增加粗糙度或涂覆特殊材料。

 

四、应用与优势

应用：单面抛光吸附垫广泛应用于半导体制造、晶圆加工等领域，特别是在需要高精度和平整度的抛光过程中。

优势：

提高抛光效率：通过吸附粉尘和碎屑，保持抛光面的清洁，从而提高抛光效率。

保护机器：防止粉尘和碎屑进入机器内部，延长抛光机的使用寿命。

降低成本：易清洁和更换的特性降低了抛光机的维护成本。

 

五、技术改进与创新

随着半导体技术的不断发展，对单面抛光吸附垫的要求也越来越高。目前，一些先进的单面抛光吸附垫已经采用了特殊材质和结构设计，以提高其吸附能力、耐磨性和使用寿命。例如，一些吸附垫采用了双层结构或特殊粘胶技术，以提高其在高压下的稳定性和耐用性。

 

六、高通量晶圆测厚系统

高通量晶圆测厚系统以光学相干层析成像原理，可解决晶圆/晶片厚度TTV（Total Thickness Variation，总厚度偏差）、BOW（弯曲度）、WARP（翘曲度），TIR（Total Indicated Reading 总指示读数，STIR（Site Total Indicated Reading 局部总指示读数），LTV（Local Thickness Variation 局部厚度偏差）等这类技术指标。

 

高通量晶圆测厚系统，全新采用的第三代可调谐扫频激光技术，传统上下双探头对射扫描方式，可兼容2英寸到12英寸方片和圆片，一次性测量所有平面度及厚度参数。

 

1,灵活适用更复杂的材料，从轻掺到重掺 P 型硅 (P++)，碳化硅，蓝宝石，玻璃，铌酸锂等晶圆材料。

 

重掺型硅（强吸收晶圆的前后表面探测）

 

粗糙的晶圆表面，（点扫描的第三代扫频激光，相比靠光谱探测方案，不易受到光谱中相邻单位的串扰噪声影响，因而对测量粗糙表面晶圆）

 

低反射的碳化硅(SiC)和铌酸锂(LiNbO3)；（通过对偏振效应的补偿，加强对低反射晶圆表面测量的信噪比）

 

绝缘体上硅（SOI)和MEMS，可同时测量多层结构，厚度可从μm级到数百μm 级不等。 

 

可用于测量各类薄膜厚度，厚度最薄可低至4μm ，精度可达1nm。

 

1，可调谐扫频激光的“温漂”处理能力，体现在极端工作环境中抗干扰能力强，一改过去传统晶圆测量对于“主动式减震平台”的重度依赖，成本显著降低。

 

2，灵活的运动控制方式，可兼容2英寸到12英寸方片和圆片测量。

 

 

综上所述，单面抛光吸附垫在半导体制造和晶圆加工领域发挥着重要作用。通过不断改进和创新，未来单面抛光吸附垫的性能和应用范围将得到进一步提升和拓展。