晶圆料号打标的方式及激光打标的原理

本文介绍了晶圆料号打标的方式以及激光打标的原理。  

晶圆为什么要打标？

晶圆在制造过程中有数百道工艺步骤，标记使得每片晶圆能够在不同阶段进行身份识别，有助于追朔，生产管理，数据收集分析，防止混淆等功能。      

晶圆的标打在哪里？

如上图，一般在晶圆边缘的flat 或notch附近，正反面均可。

为什么用激光而不用油墨？

　　1、激光打标洁净度更高，油墨在操作过程中会对晶圆有污染；

　　2、油墨容易被有机类容易去除掉，导致失去标记功能；

　　3、激光的精度更高，能够生成微小的文字、条形码等。

激光打标的原理是什么？

激光束直接作用在材料表面，使其局部温度迅速上升到气化点，使材料表面物质瞬间气化并消失，从而在表面留下凹痕。