MEMS/传感技术
表面等离子共振技术是从20世纪90年代发展起来的一种新技术,传感器的芯片是其最为核心的部件。近日,暨南大学理工学院罗云瀚课题组提出了使用二硫化钨纳米薄膜覆盖层进行增强型表面等离子体共振传感器。
传感器灵敏度与二硫化钨覆盖层的厚度有关,其可以通过涂覆不同浓度的二硫化钨乙醇悬浮液或重复后涂覆的次数来调整。由于其大的表面面积、高的折射率和独特的光电性能,涂覆在金膜上的二硫化钨纳米片覆盖层显著提高了传感灵敏度。
此外,暨南大学提出的二硫化钨等离子共振传感器在折射率范围为1.333到1.360之间的线性相关系数为99.76%。除了灵敏度增强之外,二硫化钨纳米片覆盖层还能够显示额外的优点,例如保护金属膜免受氧化、共振波长区域的可调谐性、生物相容性、蒸气能力和气敏性。
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