半导体行业对电子级超纯水的要求有多严格

水分子H2O，占地表面积的70%，是人类能够生存在地球上的最重要因素之一。我们日常所使用的水可能来源于海水、河水、湖水、雨水、地下水等，经过净化后得以使用。随着科技工业的发展，水质在科技工业上的应用要求也愈发严苛，甚至远超我们日常饮用的饮用水及包装水的标准，有的高达数十倍到百倍以上。

科技工业对水质的要求因其应用领域而异。不同科技领域根据生产过程中水质对产品的影响，制定了不同的水质标准，允许的杂质种类和浓度也各不相同。

半导体制程与超纯水

 

在半导体制造领域，对水质的要求尤为严格。为了满足这种严苛的水质要求，半导体制造业所使用的水被称为电子级水或超纯水。这种水中几乎不允许存在任何杂质，包括但不限于颗粒、金属、离子、有机物和细菌等。为了达到如此严格的水质要求，在制造超纯水的工艺上必须十分精细，以去除各种杂质。

如何制备超纯水？

超纯水的制造工艺通常包括以下几种：

预处理设备

软水器

反渗透主机

185nm UV灯

活性炭塔

RO 储水箱

离子交换混床设备或EDI设备

纯化储水箱箱

254nm UV 灯

微孔过滤器 (超滤膜)

超纯水水质标准

在半导体行业中，常用的水质标准包括：

GB/T 11446-2013 电子级水标准

GB/T 33087-2016 仪器分析用高纯水规格及试验方法

GB/T 6682-2008/ ISO 3696分析实验室用水规格和试验方法

ASTM D1193-06(2018)  试剂水标准规范

ASTM D5127-07 电子学和半导体工业用超纯水标准指南

SEMI F63:2021 Guide for Ultrapure Water Used in Semiconductor Processing

SGS服务内容

 

为了满足客户对水质分析的需求，SGS可为您提供一站式水质分析服务：

客户现场在线分析

在线总有机碳(TOC)测试、在线微粒子(Particle)测试、在线电导率测试、在线溶氧测试、在线细菌采样等

客户现场采样服务

专业工程师到现场以专业手法进行样品采集

提供采样瓶服务

提供高质量高洁净采样瓶，并附赠采样方法让客户自采

实验室分析

金属含量、二氧化硅、阴阳离子、总有机碳(TOC)、微粒子(Particle)、菌落总数、电导率、PH、碳酸根CO₃²-、溶氧、可溶解硅等。

SGS半导体超痕量分析实验室环境达到了ISO class 3和ISO class 4无尘室分析环境的标准，配备了高端的分析设备如Agilent 8900 ICP/MS和Thermo Fisher ICS 6000 IC等，以确保分析结果的准确性和可靠性。