滨松LCOS-SLM超快激光加工解决方案

　　图1. 滨松LCOS-SLM在激光加工的应用方案

　　随着激光加工技术的不断发展，超快激光加工已经成为激光精密加工中最为重要的一部分，被广泛应用到微电子器件，超表面结构，微流体，半导体等领域。传统的单点聚焦加工方式，存在加工区域小，效率低等问题，限制了很多精密加工应用，而空间光调制器可以为这些问题提供有效的解决方案。

　　空间光调制器可以对激光光束的振幅、相位或者偏振等光学参数进行调控，配合合理的光路设计，在材料加工区域得到任意的光场分布，例如多焦点并行加工、像差及球差校正和三维光场调控等，从而提高超快激光微加工的精度和效率。

　　滨松一直致力于LCOS-SLM的研发和创新。滨松的LCOS-SLM具有线性度好、相位稳定性好的优点，其极高的损伤阈值一直处于市场遥遥领先地位，而且已经在激光加工领域被广泛批量应用验证。

　　图2. 滨松LCOS-SLM X15213系列产品

　　LCOS-SLM在超快激光加工中的应用效果，不仅于LCOS-SLM的自身参数相关，也与光路设计以及算法息息相关。但是对于很多用户来说，算法设计有一定难度，算法设计需要丰富的光学，数学，软件，激光工艺等经验。滨松工程师团队对SLM的算法进行细致的优化和升级，给出了一系列的算法解决方案，来帮助工业用户更灵活，更快速的上手使用滨松的LCOS-SLM。

　　图3. 滨松提供的免费和收费算法

图4. 滨松算法软件

　　图4是滨松工程师开发的算法软件，用户只用输入需要目标图像的参数，就可以自动生成相位图，然后把相位图导入到滨松SLM的控制软件即可使用，而不用学习研究复杂的光学算法来计算相位图。

审核编辑 黄宇