通过声光介质的声光效应,实现白光干涉中的声光调制相移原理

描述

通过声光介质的声光效应,实现白光干涉中的声光调制相移原理,是一个涉及光学和声学交叉领域的技术。以下是对这一原理的详细解释:

 

一、声光效应与声光调制

声光效应是指超声波在介质中传播时,会引起介质折射率的周期性变化,这种变化可以看作是一个动态的光栅。当光波通过这个动态光栅时,会发生衍射现象,衍射光的强度、频率和方向都会随着超声波场的变化而变化。声光调制则是利用这种声光效应,将信息加载到光波上的一种物理过程。

 

二、声光调制器与白光干涉

声光调制器是实现声光调制的关键元件,它由声光介质和压电换能器构成。当驱动源的某种特定载波频率驱动压电换能器时,换能器会产生同一频率的超声波并传入声光介质,形成折射率的变化。这样,当白光通过声光调制器时,其相位会受到调制,从而实现白光干涉中的声光调制相移。

 

三、声光调制相移原理

在白光干涉测量中,通过声光调制器实现的声光调制相移原理可以概括为以下几个步骤:

 

超声波的产生与传播:由压电换能器产生超声波,并传入声光介质中。超声波在介质中传播时,会引起介质折射率的周期性变化。

光波的衍射与相位调制:当白光通过声光介质时,由于折射率的周期性变化,光波会发生衍射现象。衍射光的强度、频率和方向都会随着超声波场的变化而变化,从而实现光波的相位调制。

干涉条纹的观测与分析:在干涉仪的接收屏上观测干涉条纹的变化。由于光波的相位受到调制,干涉条纹的位置和形态会发生变化。通过测量干涉条纹的变化量,可以计算出相位差,进而得到待测物体的相关信息。

四、应用实例

基于声光调制相移原理的白光干涉测量技术在多个领域具有广泛的应用:

 

表面形貌测量:通过测量干涉条纹的变化量,可以精确计算出待测物体表面的微小起伏和缺陷。

薄膜厚度测量:利用白光干涉测量技术可以精确测量薄膜的厚度和均匀性。通过声光调制相移原理,可以实现对薄膜厚度的非接触式、高精度测量。

光学元件检测:白光干涉测量技术还可用于检测光学元件的缺陷、应力分布等。通过观测干涉条纹的形态和变化,可以判断光学元件的质量和性能。

五、技术特点与优势

高精度:声光调制相移原理可以实现纳米级别的测量精度,满足高精度测量的需求。

非接触式测量:该技术是一种非接触式的测量方法,不会对被测物体造成损伤,适用于脆弱或易损材料的测量。

灵活性:通过调整超声波的频率和强度,可以实现对光波相位的精确控制,从而适应不同测量需求。

综上所述,通过声光介质的声光效应实现白光干涉中的声光调制相移原理是一种高精度、非接触式且灵活多样的测量方法。它在表面形貌测量、薄膜厚度测量和光学元件检测等领域具有广泛的应用前景和重要的研究价值。

TopMap Micro View白光干涉3D轮廓仪

一款可以“实时”动态/静态 微纳级3D轮廓测量的白光干涉仪

1)一改传统白光干涉操作复杂的问题,实现一键智能聚焦扫描,亚纳米精度下实现卓越的重复性表现。

2)系统集成CST连续扫描技术,Z向测量范围高达100mm,不受物镜放大倍率的影响的高精度垂直分辨率,为复杂形貌测量提供全面解决方案。

3)可搭载多普勒激光测振系统,实现实现“动态”3D轮廓测量。

 

测量

实际案例

 

测量

1,优于1nm分辨率,轻松测量硅片表面粗糙度测量,Ra=0.7nm

 

测量

2,毫米级视野,实现5nm-有机油膜厚度扫描

 

测量

3,卓越的“高深宽比”测量能力,实现光刻图形凹槽深度和开口宽度测量。

 

打开APP阅读更多精彩内容
声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉

全部0条评论

快来发表一下你的评论吧 !

×
20
完善资料,
赚取积分