干法刻蚀使用脉冲电源有什么好处

　　本文简单介绍了连续波和脉冲波的概念、连续波电流与脉冲波电源的定义以及脉冲波电源相对于连续波的电源模式的优势。

　　相对于连续波的电源模式，脉冲模式的优势有哪些？什么是脉冲与连续波电源模式？

　　

　　如上图，

　　第一个为CW，Continuous Wave，连续波。连续波（CW）是指在时间上连续、恒定的波形，其功率和强度保持不变。它通常表现为单一频率信号，频谱窄且输出稳定。CW 的平均功率与峰值功率相等，信号特性简单且容易控制。CW 的主要优点是其高稳定性，非常适合对信号连续性要求高的应用场景。同时，CW 信号具有较低的噪声水平，便于进行精确测量和分析。此外，CW 系统设计相对简单，控制参数如功率和频率可以很方便地调节。CW模式下，电源输出是一个连续的波形，没有断断续续的脉冲。

　　第二个为PW，Pulsed Power，脉冲波。脉冲波是一种在时间上间断的波形，由一系列短时高强度的信号组成。脉冲的持续时间有限，间隔一定周期后再重复出现。脉冲波具有瞬时峰值功率远高于平均功率的特点，输出频谱宽，包含更多频率分量。脉冲波的最大优势是其瞬时高峰值功率，在短时间内可以释放极高的能量。此外，由于信号的间歇性输出，脉冲波的平均功率较低，有效降低了设备的热负载压力。因此，它非常适合需要高时间分辨率或瞬时高功率的应用场景。PW模式下，电源的输出功率部分时间内处于关闭状态，部分时间属于打开状态。

　　脉冲电源的特点？

　　1，间隔性工作，可以及时将热量等散出，能够使反应物有时间运输到晶圆表面。

　　2，输出功率能够加到很大，持续时间极短，能够很精确地控制脉冲功率，频率，时间等。

　　使用脉冲模式的好处？

　　1，消除微负载效应。在高深宽比的结构刻蚀中，如深孔或深槽。较小尺寸的孔或槽刻蚀速率小于较大尺寸的孔或槽。如果使用CW模式，通过减少压力，增大偏压可以改善微负载效应，但是改善的能力有限，而使用脉冲模式，可以大大改善微负载效应。

　　

　　2，减少晶圆表面损伤。如果在偏置电源上使用脉冲，可以减少等离子体攻击晶圆的时间，进而减少表面的损伤。