滨松红外相机解锁新功能——多功能光斑分析

　　滨松的铟镓砷(InGaAs)红外相机工作波段从400nm到1700nm，相当于可以覆盖可见光到近红外波段。滨松红外相机具有高灵敏度、高分辨、低坏点率及低噪声等特点。非常适合用于半导体缺陷检测、光通信、光致发光等应用。

　　对于一些应用来说，我们需要进一步分析光斑强度的二维及三维分布，光斑尺寸，圆度等参数。我们基于滨松的铟镓砷红外相机开发出了多功能光斑分析仪软件，可测量光斑直径为 50μm，另外可定制光斑放大装置，可实现最小5um的光斑检测，可以实现 400nm-1700nm 波段内的激光光斑测量及光束指向在线监测，包括光斑尺寸， 圆度，功率及指向偏移，并对光强能量场进行二维和三维显示。

　　相机参数

　　软件功能

　　实测效果图

　　1550nm激光器的光斑实测结果如下：

　　1310nm激光器的光斑实测结果如下：

审核编辑 黄宇