SC2020半导体器件测试系统 晶体管参数检测设备技术解析

一、产品定位：高精度半导体测试解决方案

SC2020晶体管测试系统是专为二极管、三极管、IGBT、MOSFET等‌半导体分立器件‌设计的‌电学参数测试设备‌，集成实验室级测量精度（±0.1%）与工业级测试效率（10,000UPH）。系统通过‌GJB128军标认证‌，适用于元器件生产企业的‌晶圆中测/封装成测‌、科研院所的‌失效分析‌以及电子制造企业的‌IQC来料检验‌。

二、SC2020系统五大核心优势解析

1. 多量程精密测试架构

‌宽范围电源系统‌：2000V高压源（±0.5%）/500A大电流源（±1%）协同工作

‌纳米级测量精度‌：16位ADC模组实现1.5pA漏电流检测，四线开尔文连接消除接触电阻

‌智能温漂补偿‌：环境温度波动影响＜0.005%/℃

2. 自动化测试能力

‌设备扩展接口‌：标配Prober/Hander接口（16Bin分类），兼容Cohu/TEL等主流‌分选机‌

‌智能分拣系统‌：支持扫码枪数据绑定，实现DMC全流程追溯

‌测试效率提升‌：联动机械手工作站的测试周期≤0.3秒/器件

3. 军工级可靠性设计

‌EMC防护体系‌：通过IEC61340-3-1静电防护标准

‌强化散热结构‌：连续测试温升＜15℃（@40A满载）

‌三防处理工艺‌：适应湿度85%RH无凝露环境

4. 智能软件平台

‌LabVIEW可视化系统‌：支持参数分档模板导入/导出（Excel兼容）

‌实时SPC监控‌：自动生成CPK过程能力分析报告

‌故障自诊断系统‌：81类异常状态代码实时提示

5. 模块化扩展配置

‌动态参数模块‌：扩展Ciss/Coss/Crss等‌结电容测试‌

‌高低温测试套件‌：支持-55℃~175℃温控腔体接入

‌汽车电子套件‌：符合AEC-Q101认证测试流程

三、技术参数对比表（关键指标）

功能模块	量程范围	分辨率	精度
高压源(HVS)	±2000V	1mV	±0.5%FS
大电流源(HIS)	±500A	1μA	±1%FS
栅极驱动	40V/100mA	0.1mV	±0.2%FS
结电容测试	5pF-100nF	0.01pF	±1%+5pF

四、典型测试场景应用

1. 功率器件量产测试

‌IGBT模块‌：BVCES/VCE(sat)/开关损耗曲线

‌MOSFET‌：RDS(on)/Qg/Coss非线性特性

‌碳化硅器件‌：双脉冲测试配套方案

2. 质量控制体系

‌来料检验‌：AQL 0.1抽检标准实施

‌失效分析‌：ESD/EOS损伤定位检测

‌可靠性验证‌：HTRB/H3TRB试验监控

3. 研发验证平台

器件参数配对筛选（Vth±2%分组）

温度特性曲线扫描（-55℃~175℃）

雪崩能量测试（EAS≥5mJ）

五、行业方案及常见问题

行业解决方案

‌汽车电子‌：满足ISO16750电源芯片测试需求

‌光伏逆变器‌：IGBT模块动态特性评估

‌工业电源‌：SR MOSFET体二极管恢复测试

常见问题

Q: SC2020测试系统如何选型？
A: 根据测试电流（＞100A需选配扩流板）、电压等级（＞1400V选高压套件）、分类需求（＞8Bin需扩展接口）

Q: 是否支持Ciss/Coss参数测试？
A: 需选配型号SC2020-CAP模块（带宽20MHz，精度±3%）

审核编辑 黄宇