SC5016大功率IGBT测试系统 第三代半导体静态参数检测设备

一、产品定位

SC5016大功率IGBT静态参数测试系统是专为‌碳化硅(SiC)/氮化镓(GaN)功率器件‌设计的全自动检测平台，支持±5000V/2000A（可扩展）极端参数测试。本设备通过模块化设计实现‌在线检测‌与‌实验室级精度‌的融合，满足新能源、智能电网等领域对‌功率半导体可靠性验证‌的核心需求。

二、核心技术创新

1. 极端工况模拟能力

‌超宽测试范围‌：5000V击穿电压/2000A持续电流（脉冲模式可达3000A）

‌多材料兼容‌：完整支持Si/SiC/GaN器件的静态参数分析

‌智能温控系统‌：内置水冷模块确保满负荷运行稳定性（ΔT≤5℃@1600A）

2. 在线检测突破

‌非拆卸式测试‌：独创Vcesat在线检测技术，支持电路板在位测量

‌自适应补偿算法‌：消除PCB寄生参数影响，测量精度达±0.05%

‌安全防护体系‌：通过IEC 61010-1防爆认证，具备电弧快速切断功能

3. 工程化设计升级

‌军工级结构‌：插槽式模块设计，支持现场快速更换测试卡

‌双模式操作‌：7寸工业触控屏本地控制 / PC端LabVIEW远程操控

‌数据追溯系统‌：自动生成符合ISO9001的测试报告（中英双语模板）

三、关键技术指标

参数类别	量程范围	分辨率	符合标准
电压测试	0-±5000V	1mV	IEC 60747-9
电流测试	0-±2000A	1nA	MIL-STD-750E
栅极驱动	±100V	0.1mV	AEC-Q101
脉冲宽度	50-300μs	0.1μs	JESD22-A108F

四、典型测试能力

1. 功率器件静态特性

‌IGBT模块‌：BVCES/VGE(th)/VCESAT（支持3.3kV以上高压模块）

‌MOSFET‌：RDS(on)@2000A级电流/体二极管反向恢复参数

‌宽禁带器件‌：SiC肖特基势垒高度/GaN二维电子气迁移率

2. 特色测试模式

‌IV曲线扫描‌：支持1000点/秒高速采样（可生成Rθja热阻曲线）

‌对比分析功能‌：多批次器件参数分布直方图自动生成

‌极限工况模拟‌：雪崩能量测试模式（EAS≥200mJ）

五、行业解决方案

1. 新能源领域

光伏逆变器IGBT模块全参数验证

电动汽车电机控制器在线检修

储能系统功率器件老化分析

2. 工业应用场景

轨道交通牵引变流器模块筛选

工业变频器失效器件快速定位

电焊机功率单元可靠性评估

审核编辑 黄宇