季丰电子半导体测试机和探针台设备介绍

半导体测试设备系统大致包括以下两部分：半导体测试机和探针台。

其中，前者负责测试晶圆器件参数（如IV，CV，Vt，Ion/Ioff等），或者可靠性（如HCI，NBTI，TDDB等）测试，通常称作半导体测试仪，简称“半测仪”。

而后者是由晶圆承载台及其配套设备，如马达步进驱动，针座/针卡等构成为晶圆测试提供测试支持的设备系统，通常称作“探针台”。探针台根据测试自动化程度不同，分为这样三种分类：手动探针台，半自动探针台，全自动探针台。

下面介绍季丰电子的半测仪和探针台设备。

半测仪设备介绍：

Keysight B1500：

 

B1500半导体参数分析仪是一款一体化器件表征分析仪，能够测量表征大多数电子器件、材料、半导体和有源/无源元器件的主要基本参数。其电压电流的高精度和稳定性经过多年口碑沉积，是目前半导体业界标杆式的测试设备。

Keysight B1500	配置	性能
数量：1套	4个DC SMU测试模块： （1HPSMU, 3HRSMU）	Max Voltage :  HRSMU+/-100V； HPSMU+/-200V Voltage Resolution ：0.5uV Max. Current: +/-100mA Current Resolution ：1fA

概伦FS-PRO

FS-Pro 半导体参数测试系统是一款功能全面、配置灵活的半导体器件电学特性分析设备，在一个系统中实现了电流电压 (IV)测试、电容电压 (CV) 测试、脉冲式 IV 测试、任意线性波形发生与测量、高速时域信号釆集以及低频噪声测试能力。

几乎所有半导体器件的低频特性表征都可以在 FS-Pro 测试系统中完成。几乎所有半导体器件的低频特性表征都可以在FS-Pro测试系统中完成。其全面而强大的参数测试分析能力极大地加速了半导体器件与工艺的研发和评估进程。

概伦FS- PRO	配置	性能
数量：1套	4HVSMU, CV Meter, 脉冲PGU High Speed SMU	Max Voltage:  HVSMU+/-200V Voltage Resolution ：0.5uV Max Current: +/-100mA Current Resolution ：1fA CV Frequency: 20~2MHz Min. Sampling time: <10ns

Keysight WAT 4082F

Keysight是德科技WAT 4082是目前业界主流WAT测试机，其一贯精确和稳定的性能有口皆碑。季丰电子和Keysight是德科技开展战略合作，已引入WAT4082测试机。同时购入Accretech AP3000e全自动探针台，搭配成完整WAT测试系统，如上图所示。可为客户提供可靠专业的WAT相关测试服务。

Keysight 4082F	配置	性能
数量：1套	1HPSMU, 5MPSMU, CV Meter  脉冲PGU, DVM	Max Voltage:  MPSMU+/-100V;  HPSMU+/-200V Voltage Resolution ：0.5uV Max Current: +/-100mA Current Resolution ：10fA CV Frequency: 1K~1MHz

另外季丰电子也可以为客户提供标准或定制所需全自动各类WAT针卡的服务。

探针台设备介绍：

半自动探针台Formfactor CM300

CM300探针台是一款优秀的晶圆测试支持平台，可应对极其复杂的环境带来的测量挑战，支持8寸和12寸晶圆。其可以灵活稳定完成DC、AC 和 RF微波器件特性、WLR等测试任务。该探针台设备可以随意搭配B1500或概伦FS-PRO半测仪设备。

Formfactor CM300	配置	性能
数量：1套 支持搭配B1500 或概伦FS-PRO	6个针座，包含6根高温DCP刀片针	支持8/12寸晶圆 单片晶圆全自动跳die 测试温度范围： 60~300C

全自动探针台Accrotech （TSK）

AP3000e

 

全自动探针台Accrotech （TSK）AP3000e是高精度、高效率（index移动、晶圆搬送、晶圆对齐）、低震动、低噪音、新一代高性能探针台。其能力足够覆盖大部分半导体器件验证测试项目。

同时，由于高低温（-50~150°C）晶圆全自动探针台的自动対针换片功能的使用，使得多片晶圆和多测试结构的测试效率较之半自动探针台均有显著提升。

Accrotech  （TSK） AP3000e	配置	性能
数量：2台 1台搭配 WAT4082 1台搭配B1500 或概伦FS-PRO	支持4070/4080规格 Probe-Card 针卡或4.5英寸方卡;	支持8/12寸晶圆测试 全自动跳die和load片 测试温度范围： -40~150C

特别声明，以上测试设备所提供的测试服务均是非量产测试，客户如需ATE量产CP/FT测试，可以安排在季丰电子的嘉善测试基地执行。

季丰电子

季丰电子成立于2008年，是一家聚焦半导体领域，深耕集成电路检测相关的软硬件研发及技术服务的赋能型平台科技公司。公司业务分为四大板块，分别为基础实验室、软硬件开发、测试封装和仪器设备，可为芯片设计、晶圆制造、封装测试、材料装备等半导体产业链和新能源领域公司提供一站式的检测分析解决方案。

季丰电子通过国家级专精特新“小巨人”、国家高新技术企业、上海市“科技小巨人”、上海市企业技术中心、研发机构、公共服务平台等企业资质认定，通过了ISO9001、 ISO/IEC17025、CMA、CNAS、IATF16949、ISO/IEC27001、ISO14001、ISO45001、ANSI/ESD S20.20等认证。公司员工超1000人，总部位于上海，在浙江、北京、深圳、成都等地设有子公司。