CDS与SDS供液系统两者之间的区别

CDS（中央化学液供应系统）与SDS（自动供液系统）在半导体、医疗等领域均有应用，但两者在功能定位、技术特点及应用场景上存在显著差异。以下是两者的核心区别：

1. 功能定位与系统架构

CDS（中央化学液供应系统）

核心功能：为生产线提供24小时不间断的化学液集中供应，支持多种工艺的自动化配液、补液和加液。

系统架构：通常采用中央供液模式，通过管道将化学液从储存设备输送至多个制程机台，具备高度集成化和自动化的特点。

适用场景：广泛应用于半导体制造中的湿法工艺（如光刻显影、晶圆清洗、湿法刻蚀、化学机械抛光等），以及医疗领域的透析液集中供应。

SDS（自动供液系统）

核心功能：以本地化供应为主，专注于单体制程或特定工艺的化学液输送，强调精准配比和灵活控制。

系统架构：采用模块化设计，通过重力、气力或泵力驱动液体输送，支持手动与自动控制模式切换，适配不同规模的生产线。

适用场景：常见于半导体前端工艺（如研磨液输送、清洗液配比）或需要灵活调整的本地化供液场景。

2. 技术特点对比

 

特性	CDS	SDS
供液范围	中央集中供应，覆盖多台设备或跨区域需求	本地化供应，单台或少量机台支持56
配液功能	支持混合、加热、搅拌等复杂功能，配比精度高（±3%）	侧重精准配比（如±50ml控制）和快速响应（配比速度>3L/min）
自动化程度	全自动运行，与厂务系统联动，支持远程监控	手动/自动可选，操作界面个性化（如触摸屏控制）
安全性	耐腐蚀、防爆设计，具备泄漏检测与紧急关闭（EMO）功能	配备防漏液托盘、泄压阀、空桶报警等安全装置
兼容性	适用于多品类化学液（酸、碱、有机物、配比类），支持复杂工艺需求	针对特定化学品优化（如研磨液、清洗液），强调与机台的直接匹配

 

3. 关键差异总结

供应模式：

CDS是中央集中式系统，适合大型产线统一管理；

SDS是本地化分布式系统，更灵活且贴近机台需求。

配液精度与复杂度：

CDS支持多工艺、多参数（温度、浓度、流速）的精确控制，适合复杂制程；

SDS侧重单工艺的高效配比，强调操作简便性和快速响应。

应用场景：

CDS多用于半导体湿法工艺（如刻蚀、清洗）或医疗透析液供应；

SDS常见于半导体前端研磨/清洗环节，或小批量、高灵活性的生产环境56。

审核编辑 黄宇