HORIBA收购韩国晶圆检测设备厂商EtaMax

拓展面向下一代功率半导体的晶圆检测系统业务

HORIBA集团旗下负责半导体业务的韩国子公司HORIBA STEC KOREA, LTD.（韩国龙仁市），近日完成了对半导体市场晶圆检测系统开发商、制造商及销售商EtaMax Co., Ltd.（韩国水原市，以下简称"EtaMax"）的收购。股权转让已于2025年4月3日完成交割。 

HORIBA集团将通过将多年自主研发的光谱技术与EtaMax的软件技术及其在化合物半导体晶圆缺陷检测领域的丰富经验相结合，扩充晶圆检测系统产品线并提升综合解决方案能力。此举将助力提升化合物半导体晶圆制造的良品率与质量控制水平。

收购背景

随着全球电动汽车和人工智能发展对数据中心需求的激增，被称为"下一代功率半导体"的化合物半导体应用正在加速普及。尽管这类半导体具备高性能与高耐久性优势，但晶圆缺陷导致的制造良率损失仍是行业痛点，市场对高精度、高效率检测设备的需求日益迫切。 

在集团中长期经营计划MLMAP2028重点布局的"材料与半导体"领域，HORIBA集团制定了到2028年实现2350亿日元销售额的目标。为实现"以先进材料和半导体领域的创新解决方案引领市场，推动可持续发展社会"的愿景，强化化合物半导体晶圆检测系统的研发能力，提供提升半导体制造全流程的综合性分析解决方案至关重要。

业务特色与发展目标

EtaMax主要开发基于光致发光*1分析技术的晶圆检测系统，在化合物半导体晶圆均匀性评估、微观缺陷类型判定等多元化应用场景中具有显著优势。  

本次收购将充分发挥HORIBA集团的全球网络优势推动业务扩展。通过将EtaMax的软件技术与集团核心的拉曼光谱*2、椭圆偏振光谱*3等分析技术深度融合，加速新产品研发并提升系统解决方案能力，从而为化合物半导体晶圆量产过程中的良率提升和品质管理提供有力支持。 

HORIBA集团将持续创新，致力于满足半导体制造流程中客户多样化的分析与检测需求。

EtaMax公司概况  

公司名称	EtaMax
成立时间	2008年
所在地	韩国京畿道水原市劝善区产业路155番街280-17 （邮编16648）
法定代表人	代表理事 Jung Hyundon（정현돈）
员工人数	40名（截至2024年12月31日）
主营业务	晶圆检测系统的研发、制造与销售

HORIBA STEC KOREA公司概况  

公司名称	HORIBA STEC KOREA, Ltd.
成立时间	1994年
所在地	韩国京畿道龙仁市器兴区数码谷路98 （邮编16878）
法定代表人	CEO/President Teruhiro Tamura
员工人数	112名（截至2024年12月31日）
主营业务	气体/液体流量控制系统的生产、销售及售后服务

*1光致发光光谱技术：通过特定波长光照射样品，测量其释放的荧光，获取缺陷及杂质等信息的检测方法 

*2拉曼光谱技术：通过分析样本受光照射后产生的拉曼散射光，评估分子结构与特性的分析手段 

*3椭圆偏振光谱技术：通过测量入射光与反射光的偏振态变化，测定样品厚度与光学常数等的分析方法