P66.X5K超高分辨率一维压电纳米定位台

超高分辨率压电纳米定位台凭借其高精度、快速响应和高稳定性的卓越性能，引领众多行业技术革新，为科研和工业生产带来了前所未有的可能性。无论是在基础科学研究中探索微观世界的奥秘，还是在高端制造业中提升产品质量和性能，压电纳米定位台都发挥着不可替代的作用。

P66.X5K压电纳米定位台采用压电陶瓷直驱技术，可产生X向一维运动，行程可达4.7μm，开环分辨率达0.2nm，可精准捕捉原子级位移变化，是一款具有超高分辨率的一维压电纳米定位台。水平方向安装承载可达2kg，立式与倒置安装同样稳定可靠，兼顾微小位移精度与大负载稳定性。体积小巧，结构紧凑，尺寸仅为85×70×15.5mm^3，成为空间受限场景的理想选择。产品外观如下图所示。

产品特点

1.一维X向运动

2.行程可达4.7μm

开环位移曲线

3. 承载可达2kg

4.安装方式可选

典型应用

1.半导体制造：在半导体芯片制造过程中，光刻环节对定位精度的要求近乎苛刻。压电纳米定位台可用于精确控制晶圆和掩模版的相对位置，确保光刻图案的精准转移。利用压电纳米定位台的超高精度，能够有效提高芯片制造的良品率，推动半导体制造工艺向更小制程、更高集成度发展。

注：图片来源于网络

2.显微/扫描：压电纳米定位台可提供亚纳米级精度、超高稳定性和快速响应能力，已成为现代显微成像与扫描技术的核心组件，广泛应用于超分辨显微镜、原子力显微镜（AFM）、共聚焦显微镜、电子显微镜（SEM/TEM）等设备。

注：图片来源于网络

3. 光学测量：光学测量是利用光的性质如光的传播、反射、折射、干涉、衍射等，进行长度、形状、角度、颜色等精确测量的非接触式测量技术，压电纳米定位台以其高精度和快速响应的特点，在光学测量技术中提供纳米级精密定位，可使测量结果更精确。

注：图片来源于网络

技术参数

型号		P66.X5K
运动自由度		X
驱动控制		1 路驱动
标称行程范围（0~120V）		3.8μm
Max. 行程范围（0~150V）		4.7μm
开环分辨率		0.2nm
空载谐振频率		2kHz
带载谐振频率		0.4kHz@2kg
阶跃时间		1ms
静电容量		0.38μF
工作温度范围		-20~65℃
承载能力	水平安装	2kg
	立式安装	1.5kg
	倒置安装	2kg
材质		不锈钢、铝合金
出线长		1.5m
重量		240g

配套控制器

E01.C1压电控制器非常适用于驱动P66.X5K压电纳米定位台。E01.C1是一款机箱式单通道压电陶瓷控制器。输出电压范围-20V~120V，带宽10kHz，可手动调节、模拟输入、自发波形控制，配备计算机串口/USB接口，液晶键盘显示，操作便捷。

审核编辑 黄宇