基于MEMS技术的CO2传感器 主要检测CO2泄漏

日本特殊陶业展出了通过红外吸收型CO2气体传感器，该传感器的主要用途是检测CO2泄漏。使用CO2的制冷机以家庭用途为开端开始普及。日本特殊陶业认为，这一趋势迟早会影响到汽车领域。但CO2万一泄漏，就会充满车内，造成危险。吸入CO2后人会发困，而且CO2无味，很可能造成驾驶中不知不觉打盹的情况。与家庭用途相比，车内空间较为狭窄，因此危险性更高。

此次展出的传感器采用基于硅的MEMS技术，工作时会把空气吸入腔室并照射光。由于CO2通常会吸收波长为4.2μm的光，因此，把工作在这一频带的光传感器和用于参照的工作在3.9μm频带的光传感器放在一起，当CO2浓度上升，只有4.2μm的光会变弱，由此便可检测出有CO2泄漏。在展会上，参观者可以对着该传感器吹气观察CO2浓度的显示发生变化。