星纳微3D形貌轮廓测量机

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星纳微(天津)精密科技有限公司成立于天津，公司致力于精密仪器设备制造，注重科技创新。作为国内领先的的3D量测设备及高精度的气浮平台供应商，我们为各行业的用户提供完善的系统解决方案。公司的产品包括：控制软件、驱动器、运动平台，纳米级定位平台，精密气浮平台，3D自动量测机，3D轮廓仪，激光扫描振镜等一系列精密仪器设备及解决方案。公司的产品及方案广泛地应用于各个行业：医疗器械、生命科学、半导体和集成电路、激光加工、光电、自动化、数据存储、航天航空、电子制造和测试、高校科研等有高精度高稳定性要求的众多行业。

 

产品概述：
对产品进行三维形貌测量，集合了相位差干涉，白光干涉，共聚焦，多焦面叠加的四合一的技术，可以做面型测量，共面度检测，研磨后的粗糙度检测，颗粒度检测，结构测量，孔深孔径，真圆度，膜厚测量，RDL线路量测，镭切槽检测，线宽，线距，去干膜前铜厚，SOLDER MASK开口尺寸，铜面粗糙度等众多三维量测项目。
3D自动量测机主要是对晶圆、PCB板等产品进行的三维形貌测量。设备可高精度、快速、自动化进行PCB产品表面3D形貌测量。

性能指标：

1).高精度（0.1nm高度分辨率）
2).超快速（2S/FOV）
3).多功能（共聚焦/干涉/多焦面）
4).多点编程量测
5).自动化（自动扫描、自动数据统计、自动数据上传）
6).条码读取调用模板
7).CCD影像定位（涨缩、摆放偏移校正）
8).SECS/GEM