KLA即将亮相2025国际太阳能光伏与智慧能源展览会

KLA Instruments 小课堂

定期分享KLA Instruments旗下产品的各种技术资料、应用笔记和使用指南。

旗下产品包括：轮廓仪、纳米压痕仪、薄膜测厚仪、方阻测量仪以及晶圆缺陷检测系统。

6月11日，KLA Instruments将亮相一年一度的2025国际太阳能光伏与智慧能源&储能及电池技术与装备(上海)大会。

SNEC PV Power& ES Expo

SNEC光伏展览会是全球性的专业光伏展，其展出内容包括：光伏生产设备、材料、光伏电池、光伏应用产品和组件，以及光伏工程及系统、储能、移动能源等，涵盖了光伏产业链的各个环节。

SNEC光伏论坛形式也格外丰富多彩，涉及光伏产业未来市场趋势分析、合作发展策略、各国政策导向、行业最前沿技术、光伏金融等，是向业界展示成果的最佳机会。

KLA Instruments将借此次机会展出最新推出的新品光学轮廓仪Zeta-Solar、Zeta-20HR，探针式轮廓仪 Tencor P-7、方阻测试仪Filmetrics R54等多款重点机型，并由应用经理 Dr. Jianhui Liang带来关于“KLA 在光伏电池片制造领域的解决方案”的精彩演讲。欢迎莅临！

展会时间：2025年6月11日-13日

展会地点：国家会展中心（上海市青浦区崧泽大道333号）

展位号： 1.2H-E530

演讲主题：KLA 在光伏电池片制造领域的解决方案

演讲嘉宾：梁建辉 博士

演讲时间：2025年6月12日，下午14:45

演讲地点：国家会展中心上海洲际酒店，多功能厅10

梁建辉 博士 PROFILE

KLA Instruments 应用工程经理

梁建辉博士是科磊半导体的应用工程经理，在KLA美国总部带领KLA Instruments的应用开发团队，专注于推进表面量测技术的应用开发，包括探针式轮廓仪、白光干涉、自动变焦、反射光谱、四探针测方阻、涡流法测电阻等量测技术。梁建辉于2011年和2016年分别获得复旦大学物理学学士和博士学位，并于2016年加入KLA。迄今为止已经发表超过25篇学术论文，累计被引超过600次。他的研究成果发表于Applied Physics Letters, Optics Express, Advanced Optical Materials, Physical Review B, Thin Solid Films等知名学术期刊。

课程内容包括： 

1）光学轮廓仪如何对晶硅太阳能电池片的绒面及表面栅线轮廓进行测量；  

2）台阶仪如何对钙钛矿电池器件的薄膜厚度进行快速且准确的测量；

3）方阻测试仪如何在扩散、氧化和退火工艺流程中进行有效的方阻监控。