吉时利6517B静电分析仪操作白皮书

一、设备概述

6517B型静电计是吉时利（Keithley）推出的高精度静电测量仪器，专为低电流（1fA-20mA）和高电阻（1Ω-10¹⁶Ω）测量设计。其核心功能包括：

超低电流测量：分辨率达1fA，适用于半导体、光电材料等微弱信号检测。

高阻测量：输入阻抗高达200TΩ，可精准测量绝缘材料电阻。

电荷测量：支持库仑模式，用于电容器件或静电放电分析。

电压源输出：内置±1kV高压源，兼容浮地测量场景。

​二、操作前准备

安全接地与接线

接地检查：确保仪器外壳通过保护性接地端子可靠接地。

屏蔽连接：使用三同轴电缆（Triax）连接输入端口，减少外部噪声干扰。

浮地测量配置：若需隔离测量，通过FLOAT功能键启用浮地模式，配合隔离变压器使用。

开机自检

长按前面板POWER键3秒，仪器启动自检程序，屏幕显示版本信息及校准日期。

自检通过后，主界面显示当前测量模式（默认电流模式）。

量程与模式选择

量程设置：通过旋转开关或RANGE键选择量程（如1fA、10fA、100fA至20mA）。

模式切换：按FUNCTION键循环切换电流（I）、电压（V）、电阻（R）、电荷（Q）模式。

三、基础测量操作

电流测量（I模式）

接线：将三同轴电缆中心导体接被测电路，外层屏蔽接地。

调零：短接输入端，按ZERO键消除本底电流（建议每次测量前执行）。

启动测量：按TRIGGER键或通过外部触发信号启动测量。

数据读取：屏幕显示实时电流值（如-1.234E-12 A），按HOLD键冻结数据。

电阻测量（R模式）

电压源配置：在电阻模式下，按SOURCE键设置测试电压（如10V、100V至1kV）。

接线：高压端接被测电阻，低压端接地（或浮地）。

测量：按TRIGGER键，仪器自动计算电阻值（R=V/I）。

注意事项：高阻测量时避免人体接触测试线，防止漏电干扰。

电荷测量（Q模式）

电容连接：将待测电容连接至输入端，按SOURCE键设置积分时间（1ms-100ms）。

积分测量：按TRIGGER键启动电荷积分，屏幕显示总电荷量（Q=∫I dt）。

四、高级功能应用

自动扫描与数据记录

电压扫描：通过SWEEP功能设置电压源起始值、终止值及步长（如0V→1000V，步长10V）。

数据记录：连接计算机，使用KickStart软件自动采集I-V曲线数据，支持实时绘图与导出（CSV/TXT格式）。

噪声抑制与滤波

带宽限制：按FILTER键选择低通滤波器截止频率（如1Hz、10Hz），降低高频噪声。

平均模式：启用AVERAGE功能，设置平均次数（如10次），提高信噪比。

浮地测量配置

高压隔离：在FLOAT模式下，输入端与地电位隔离，支持±1kV偏置电压。

安全屏蔽：使用绝缘支架固定测试线，避免高压电弧风险。

五、维护与校准

日常维护

清洁：使用异丙醇擦拭输入端口，避免使用腐蚀性溶剂。

连接检查：定期检查三同轴电缆磨损情况，更换老化线缆。

校准流程

自校准：按CALIBRATE键启动自校准程序（需连接标准电阻/电容）。

外部校准：联系吉时利授权服务中心进行年度校准，确保测量精度。

六、故障排除

无显示

检查电源线连接，确认保险丝完好（位于仪器背面）。

重启仪器，长按POWER键10秒强制复位。

数据波动大

检查屏蔽接地，远离电磁干扰源（如变频器、电机）。

启用FILTER功能或缩短测试线长度。

超量程提示

切换至更高量程（如10mA→20mA）。

检查被测电路是否存在短路或漏电。

七、安全规范

高压操作：佩戴绝缘手套，禁止触摸高压端子。

静电防护：在低电流测量时，使用防静电手环及导电桌垫。

废弃处理：报废仪器需联系专业机构回收，避免环境污染。

八、文档下载与技术支持

如需详细电子版手册可访问安泰测试科技官网下载https://www.agitekservice.com/或者联系客服领取，如需技术支持也可联系我们，安泰测试科技提供吉时利的免费技术支持18682985902（同wx）。

审核编辑 黄宇