EFEM晶圆传输系统：半导体制造的关键枢纽与科技的赋能

在半导体制造的前道工艺中，晶圆传输的效率和可靠性直接影响生产良率与设备利用率。EFEM（设备前端模块）作为晶圆厂与工艺设备之间的智能接口，承担着晶圆洁净传输、精准定位与高效调度的核心任务。其性能的优劣，很大程度上取决于内部运动控制核心——直线电机平台的精度与稳定性。这正是我们深耕13年的领域。

实力：专注沉淀，定制化基因深厚
13年如一日聚焦于非标定制直线电机平台及精密传动控制解决方案的研发与制造。积累了服务超500家各行业客户的丰富经验，汉诺深刻理解不同应用场景的独特需求，尤其在半导体设备这类对洁净度、精度、可靠性要求严苛的领域。汉诺提供全面的非标定制化设计方案服务，并欢迎潜在客户实地考察同行业成功案例，亲身体验设备运行效果，为技术选型提供直观依据。

高精度驱动：EFEM高效传输的基石
EFEM的核心功能要求其内部的晶圆搬运机械手（Wafer Handler）和预对准器（Pre-Aligner）必须实现高速、平稳、无振动的纳米级重复定位精度。直线电机平台凭借其技术特点，成为满足这些严苛要求的理想选择：

精准定位与高速响应： 直线电机直接驱动，无中间传动环节，消除了背隙和摩擦，确保机械手拾取、放置晶圆以及预对准旋转时达到微米乃至纳米级的重复定位精度，并实现毫秒级的快速响应，显著提升EFEM的Throughput（吞吐量）。

洁净无污染： 非接触式驱动方式，无传统丝杠、齿轮带来的磨损颗粒和润滑油脂污染风险，符合半导体制造对Class 1甚至更高洁净等级的严苛要求，保障晶圆在传输过程中的洁净度。

平稳低噪运行： 优异的控制算法和结构设计，使运动过程平滑顺畅，大幅降低振动和噪音，减少对精密晶圆的潜在物理损伤风险，提升系统长期运行的稳定性。

信任之选：知名企业合作的实力背书
技术实力和产品可靠性，已获得众多在半导体制造领域拥有良好声誉的装备制造商的认可。公司成功为多家知名半导体设备商提供了定制化的高精度直线电机平台，应用于其先进的EFEM系统中。这些持续的合作关系，是对汉诺研发设计能力、规模化生产品控、以及按时交付能力的有效验证。

坚实后盾：整机质保1年与无忧售后
深知半导体设备对连续稳定运行的极致要求，为其直线电机平台郑重提供整机质保1年的承诺，这源于对自身产品品质的充分信心。完善的售后服务体系覆盖全国，专业工程师团队提供快速响应与持续的技术支持，确保客户设备在生命周期内的高效稳定运行，有效降低维护成本和停机风险。无论是安装调试、日常维护还是故障排查，汉诺都能提供及时可靠的保障。

结语
EFEM晶圆传输系统的卓越性能，离不开其核心驱动部件——高精度直线电机平台的强力支撑。凭借13年专注非标定制的深厚积淀、超500家客户验证的丰富经验、经知名半导体设备商认可的技术实力，以及包含整机质保1年在内的完善售后体系，为国产及国际领先的EFEM设备制造商提供值得信赖的高精度运动控制解决方案。欲了解更多关于直线电机平台如何赋能您的EFEM系统，或预约参观行业应用实例，敬请咨询http://www.hanocn.com/product/

审核编辑 黄宇