应用案例 | 赋能半导体良率跃升！深视智能高速摄像机揭秘晶元抓取微观世界

 

动作捕捉难：常规观测设备无法精准捕捉机械臂毫秒级的运动细节。

损伤难溯源：晶元抓取后易出现隐性崩缺，难以关联振动源。

工艺优化慢：缺乏全局运动轨迹与姿态参数，机械系统调优依赖经验试错。

深视智能的“解题思路”

 

面对晶元抓取过程 “快、精、微” 的特点，深视智能提出基于高速摄像技术的晶元抓取工艺优化方案：

01

毫秒级动态解析

精灵系列高速摄像机（型号：SH2-203）以2000fps高帧率，将机械臂吸盘取放晶元的过程拆解成连贯的慢动作序列，工程师通过对高速视频的逐帧分析，可直观发现传统方式难以察觉的动态问题。
 

02

高清画质清晰呈现

精灵系列高速摄像机以1920x1080高清分辨率，清晰记录吸盘接触形变、机械臂振幅及定位偏差等微观特征，助力工程师清晰观察晶元与吸盘接触时的形变、晶元离地时的微小振动、传输过程中的姿态稳定性等关键细节。
 

03

数据驱动工艺升级

借助配套运动分析软件，工程师可进一步提取位移、速度、加速度等动态数据，为运动控制算法的迭代和机械系统的协同调优提供有力的数据支撑，进而提升半导体制造设备运行稳定性与生产效率。

 

 

 

应用价值

01

突破产线部署限制

 

深视智能精灵系列高速摄像机以72×72×89mm小巧体积和680g轻量化设计，可轻松嵌入设备密的集产线，贴近机械臂核心动作区架设，捕捉晶元抓取、放置等关键动作。

 

 

02

适配多场景观测需求

 

精灵系列高速摄像机具备出色的环境适应性：高效散热系统确保控温环境下稳定运行；IP64级全密封防护及抗振动设计有效抵御低尘与高强度振动；全信号隔离与EMI抑制技术保障在高压、强磁干扰下可靠工作。

 

 

03

大容量非易失存储

 

精灵系列高速摄像机采用非易失性存储介质，断电数据不丢失，大容量数据无需导出，配套软件可对内部存储进行可视化管理。

 

 

深视智能高速相机推荐

 

深视智能精灵系列高速摄像机以1920x1080高清分辨率，清晰记录吸盘接触形变、机械臂振幅及定位偏差等微观细节，帮助工程师精准定位半导体生产设备工艺薄弱环节，为运动控制逻辑优化、机械结构调校提供可视化数据依据。