多轴驱动器如何实现高速运行与高精控制双突破

以直线电机为代表的直驱技术是解决精密生产中高精度、高吞吐量要求的必经之路，精密设备的的驱动控制架构构建也要同时满足系统兼容和特殊结构的复杂要求。在精密运动平台领域，分布式多轴驱动器成为了解决关键问题的热门产品。

什么是多轴驱动器

分布式总线型驱动器是当今自动化系统的总体趋势，DSP+FPGA是一种常见的驱动器信号处理架构。如果让一组次架构的运算核心同时处理多轴的伺服闭环运算，则构成了一套多轴伺服驱动器。充足的运算能力可以让驱动器同时处理单轴、双轴或多轴的闭环算法和高速信号处理。

 

 

为什么需要多轴驱动器?

多轴驱动器共享硬件算力、共享母线驱动电路的做法，减少了PCBA制造成本、母线电路元器件成本，是一种经济、节省空间的有效方法。

 

 

典型应用有哪些?

小型仪器设备

小型微动仪器设备对运动精度和体积都具有较高要求，小型多轴驱动器具有灵活的上位控制方案、较少的轴数、精巧的单体设计。

 

XYZ模组

 

反馈映射

小型微动仪器设备对运动精度和体积都具有较高要求，小型多轴驱动器具有灵活的上位控制方案、较少的轴数、精巧的单体设计。

 

AGD系列

 

龙门控制

轴间耦合及虚拟轴控制

对比轴间通讯方式的龙门控制，多轴驱动器的龙门控制方案具有高控制带宽、高同步的特点，可以轻松实现刚性、柔性龙门轴的行走轴控制和扭摆轴控制。能够实现更高的运动速度和更高的控制精度，同时降低了接线复杂程度和调试流程。

 

龙门控制

 

晶圆量检测——光学调平/调焦模块(ZTT模块)

对于半导体领域常用的晶圆载台，需要将多个Z向电机耦合成常用的Z、Rx、Ry轴进行高度和倾斜姿态的调整。多轴驱动器提供了DSP层面的耦合算法，具更备高的控制带宽和更容易使用的控制接口。

雅科贝思提供八轴驱动一体方案，能够实现高精度平台和Wafer载台的整体控制。

 

雅科贝思 PGS-ZTPR 调平/调焦模块

AGM系列