海瑞思亮相2025深圳国际半导体展

9月10日，为期三天的SEMI-e第七届深圳国际半导体展于深圳国际会展中心盛大启幕。海瑞思携多款专业密封检测解决方案亮相14号馆K11展位，并凭借创新的技术应用与成熟的解决方案，成为备受瞩目的焦点。

首日盛况：技术引领，人气汇聚

开展首日，海瑞思展台便迎来大量专业观众驻足，交流气氛热烈。此次参展以“一站式密封检测，筑牢半导体密封防线”为主题，集中展示了包括RGA残余气体分析系统、氦质谱检漏系统等多款自研核心产品，覆盖半导体行业芯片封装等的微漏检测，以及半导体制作过程中的工艺气体实时监测和分析，为提升芯片良率与产品可靠性提供关键技术保障。

专业团队现场赋能

海瑞思资深工程师团队全天候驻守展位，围绕行业常见痛点——如“微漏难定位”“良率波动”“气体浓度失控”等，与现场客户开展多轮一对一技术交流与案例剖析，带来诸多切实可行的解决方案。

众多客户对海瑞思RGA系统、氦检设备、氢氮检漏仪表现出浓厚兴趣，现场亲身体验了设备的操作，并围绕其核心性能、应用场景及定制化解决方案，与工程师进行了深度对接与探讨。更有客户在充分沟通后，现场即达成合作意向，展现出对海瑞思技术与服务的高度认可。

硬核产品与技术亮点

01 HM-100 残余气体分析仪

高分辨率：<1amu

高灵敏度：最小可检分压3*10-14 Torr

宽质量数范围：1-100amu，可识别H2、He、H2O、N2、O2、CO2等关键气体。

02 HM-200在线质谱分析仪

采用RGA技术直接检测电解液泄漏，无需检测气体,灵敏度高,成本更低; 自带触摸显示屏，操控精准。

03 HM-400氦质谱检漏仪

最小可检漏率 5*10-13Pa·m3/s; 正压负压皆可检，全面覆盖需求; 推车式结构轻便高效，适用各类生产环境; 模块化紧凑设计，易于系统集成，适用于各种自动化装配线。

04 HV-100 VOCs检测仪

检测精度1ppb，秒级响应；支持多种测试气体和应用场景；小巧便捷，轻松操作；自动储存，支持数据溯源。

一站式解决方案

海瑞思不仅提供专业的检测仪器、定制化测试平台、治具，更为客户提供工艺分析、测试方案定制与售后支持的全流程服务，真正帮助客户系统性地解决检测难题，助力质量和效能全面提升。

明天继续，邀您共商合作

展会仍将继续，海瑞思在14号馆K11展位等您！欢迎半导体行业伙伴莅临展台：

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展位：深圳国际会展中心（宝安）14号馆K11

时间：2025年9月10-12日

关于海瑞思

深圳市海瑞思自动化科技有限公司（Hirays）创立于2008年，是国家级高新技术企业和全球领先的密封检测解决方案服务商。公司拥有超200项核心专利及著作权，自研核心技术达国际先进水平，设备检测精度覆盖10-1至10-13 Pa·m³/s，服务全球超5000家客户，致力于为高端制造提供高可靠性检测解决方案。