芯片开封（Decap）的流程

在集成电路分析领域，芯片开封（Decapsulation，简称Decap）是一项至关重要的技术环节。无论是进行失效分析还是反向工程研究，芯片开封都是打开微观世界大门的第一把钥匙。这项技术旨在精确移除包裹芯片的外部封装材料，完整暴露内部的晶粒、邦定线和焊盘，同时确保内部结构不受损伤，为后续分析工作奠定基础。
 

芯片开封方式通常有化学(Chemical)开封、机械(Mechanical)开封、激光(Laser)开封。

 

机械开封适用于陶瓷、金属等坚硬封装材料，通过物理手段进行移除；激光开盖则是一种借助高能量密度激光蚀刻掉芯片外部封装壳体的开盖方式。

而化学开封则主要针对占市场主流的环氧树脂塑料封装，利用化学试剂的选择性溶解特性实现精准开封。

在现代集成电路分析中，化学开封因其高精度和可控性成为最主流的开封方法，本文将重点探讨这一技术的详细流程与操作要点。

 

 

化学开封的前期准备工作  

 

1. 安全防护

化学开封操作涉及发烟硝酸、发烟硫酸等强腐蚀性试剂，因此安全措施必须放在首位。操作人员必须在专业通风橱内进行作业，配备完善的个人防护装备和应急处理设施。金鉴实验室在进行试验时，严格遵循相关标准操作，确保每一个测试环节都精准无误地符合标准要求。

2. 样品评估与预处理在开始开封前，需充分了解待处理芯片的基本信息。

通过X-Ray透视技术预先检查芯片内部结构，可以初步判断晶粒位置、邦定线布局以及是否存在空腔等特征，为确定最佳开封位置提供依据。