MEMS/传感技术
5月下旬在美国洛杉矶举办的SID国际显示会展上,比利时微电子研究中心(IMEC)和霍尔斯特中心(Holst Centre)展示了他们的新型柔性薄膜传感器,该传感器基于薄膜图像传感技术可实现对指纹和掌纹识别。该薄膜传感器的厚度只有0.2毫米,可以安装在任何物体上进行身份的验证,比如门把手、手机屏幕、汽车方向盘等。
他们展示了该薄膜传感器的两种示范机,如图1所示。第一个示范机(a)尺寸大小为6厘米 x 8厘米,它可以同时检测4根手指,分辨率为200 ppi。第二个示范机(b)是为单个指纹设计的,分辨率为500 ppi,可以提供更高的图形质量。其精准度达到联邦调查局(FBI)身份识别的标准。
其图像传感器可以检测到皮肤表面反射的波长在400至700纳米之间的可见光。它们还可以检测到反射之前的穿透皮肤的部分光。后面这一特征对于心脏跳动的检测很有价值,因为它提供了一种额外的安全检测手段。
图1 薄膜指纹识别传感器示范机
新型指纹传感器由一层氧化物薄膜晶体管构成,顶层为有机光电二极管。这些光电二极管可以通过使用不同的有机材料来进行“调谐”,以使它们可以检测到不同的波长,例如近红外光。通过近红外光检测可以将手部的静脉图像显示出来,这些图像甚至比掌纹的识别更精确。
图2 PYCSEL创新型指纹识别传感器项目,采用基于PVDF(聚偏氟乙烯)热释电材料的有源热传感器
除了这款基于光电二极管和光学原理的指纹识别传感器外,IMEC和Holst Centre还在致力于通过使用热传感器来做指纹识别,即PYCSEL项目。其结构的底层还是使用氧化物薄膜晶体管,上层是一种可以测量温度变化的材料。然后通过比对指纹图案局部区域的温度变化来间接地检测指纹,同样也可以实现500 ppi的分辨率。
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