沉铜目的:
使孔壁上的非导体部份的树脂及玻璃纤维进行金属化( metallization), 以进行后来的电镀铜制程,完成足够导电及焊接之金属孔壁。
沉铜流程:
磨板:去除钻孔后的披锋
上板:将磨好的板放如沉铜框内
膨胀:软化膨松孔内的树脂(Epoxy),降低聚合体间的键结能,使高锰酸钾(KMnO4) 更易咬蚀形成微小的粗糙面
除胶:去除钻孔时因高温产生的熔融状胶渣(Desmear) 产生微小粗糙面,增加孔壁与铜的结合力。
中和:为了去除反应后产生的二氧化锰沉淀
除油:除去板面油污,指印,氧化物,孔内粉尘;对孔壁基材进行极性调整(使孔壁由负电荷调整为正电荷)便于后工序中胶体钯的吸附;除油调整的好坏直接影响到沉铜背光效果
微蚀:除去板面的氧化物,粗化板面,保证后续沉铜层与基材底铜之间良好的结合力;新生成的铜面具有很强的活性,可以很好吸附胶体钯;
微蚀:主要是保护钯槽免受前处理槽液的污染,延长钯槽的使用寿命,主要成分除氯化钯外与钯槽成份一致,可有效润湿孔壁,便于后续活化液及时进入孔内活化使之进行足够有效的活化;
活化:经前处理碱性除油极性调整后,带正电的孔壁可有效吸附足够带有负电荷的胶体钯颗粒,以保证后续沉铜的均匀性,连续性和致密性
加速:可有效除去胶体钯颗粒外面包围的亚锡离子,使胶体颗粒中的钯核暴露出来,以直接有效催化启动化学沉铜反应
化学沉铜:通过钯核的活化诱发化学沉铜自催化反应,新生成的化学铜和反应副产物氢气都可以作为反应催化剂催化反应,使沉铜反应持续不断进行。通过该步骤处理后即可在板面或孔壁上沉积一层化学铜
化学铜(PTH) 的原理:
反应原理:
Cu2+2HCHO+40H-→Cu+2HCOO-+2H2O+H2↑ (主反应)
2Cu2++HCHO+5OH-→Cu2O+HCOO-+3H2O (副反应A) +
H2O→Cu+Cu2++2OH-
2HCHO+NaOH→HCOONa+CH3OH
(副反应B)
沉铜工艺参数:
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