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RTTLIT(实时瞬态锁相热分析系统),是基于锁相热成像(LIT)技术内核。以“光与热”突破性的检测性能和多场景适配能力为电子半导体领域提供失效检测的“卡脖子问题”。
RTTLIT 锁相热分析技术是通过创新周期性激励源向目标物体施加特定频率的电信号,促使物体产生同步的热响应。在此过程中,环境噪声易对检测信号造成干扰,而致晟光电拥有锁相解调单元与专属算法,能够精准筛选出与激励频率相关的热信号,有效过滤背景噪声,实现对微弱热信号的高效提取。
从此次优化后从系统设计构成来看,RTTLIT 锁相热分析由四大核心部件协同发力:周期性激励源为检测提供稳定可控的能量基础;高灵敏度红外探测器负责捕捉物体的热辐射信号,是实现高精度检测的关键;锁相解调单元承担信号筛选与提纯的核心职能;专业图像处理软件则将原始信号转化为清晰直观的缺陷图像,为后续分析提供可视化支撑。这套高度集成的系统设计,确保了从信号激励、捕捉到分析的全流程精准可控。
实时瞬态锁相热分析系统作为致晟光电的核心技术,RTTLIT 在性能指标上实现了行业领先的突破。其温度灵敏度高达 0.0001°C,显微分辨率低至 2μW,能够捕捉到传统设备难以察觉的微弱热信号,即使是半导体器件内部极其细微的缺陷所产生的热辐射,也能被精准识别。更值得关注的是,RTTLIT 具备无损检测的显著优势,可在不破坏样品结构与性能的前提下,对各类封装状态的半导体器件进行全面检测。这一特性不仅降低了企业的检测成本,避免了因样品损坏造成的研发延误,更适用于批量生产中的质量抽检与成品验证,大幅提升了检测流程的效率与经济性。
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审核编辑 黄宇
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