航裕电源隆重推出HY-SL系列紧凑型高压直流电源

在半导体制造领域，从离子注入环节的精细束流控制，到薄膜沉积过程的稳定能量供给，再到晶圆检测阶段的高压绝缘测试，每一个核心环节均依赖高压直流电源的“精准赋能”。作为深耕高压电源领域、具备军工品质的专业企业，航裕电源隆重推出HY-SL系列紧凑型高压直流电源。该系列产品以覆盖1kV-130kV电压、10W-1200W功率的全规格矩阵，为半导体行业提供解决方案，助力半导体产线达成更高良率、更稳定运行的目标。

     

1   极致紧凑设计，小体积 大能量     

半导体设备呈现小型化集成的发展趋势，传统高压电源体积庞大，常导致产线空间利用率低下。HY-SL系列以“紧凑化”作为设计核心，通过优化电路布局与结构设计，在确保性能的同时，实现了体积的大幅缩减。

1U/2U 标准化机身：10W-300W功率段机型采用1U规格，尺寸为430(W)×513(D)×43.7(H) mm；600W-1200W功率段机型为2U规格，尺寸为430(W)×500(D)×88(H)mm，可直接嵌入半导体设备标准机柜，无需额外预留冗余空间。即便80kV-130kV高电压型号，深度也仅增至610mm，远优于同电压等级其他品牌电源的体积，能够轻松适配半导体产线“高密度集成”的需求。

轻量化与易安装：紧凑的结构，不仅降低了设备搬运与安装的难度，还减轻了半导体整机设备的负重，间接提高了产线运维效率，为半导体企业节省了宝贵的车间空间成本。

操作逻辑无缝衔接：配备液晶显示触摸屏，可实时回读电压、电流、功率数据，前面板旋钮能够精准设定参数，输出ON/OFF、高压开关等操作逻辑与进口设备完全同步，用户无需额外培训即可快速上手，降本增效。

2    筑牢半导体工艺“精度防线”     

半导体设备呈现小型化集成的发展趋势，传统高压电源体积庞大，常导致产线空间利用在半导体制造过程中，电压电流的微小波动可能导致晶圆报废。HY-SL系列在精度、稳定性与防护方面实现了全方位突破，契合半导体工艺的严苛要求。

低纹波+ 强保护，守护半导体工艺安全：

标准输出纹波低至0.1%p-p+1Vrms，选配“低纹波（LR）”功能后可降至 0.05%p-p，通过优化滤波模块减少高频噪声，完美适配半导体薄膜沉积等对电磁干扰敏感的工艺；0.5 小时预热后，电压/电流稳定性保持100ppm/小时，温度系数100ppm/℃，满足半导体产线 24 小时连续运行的稳定需求。

电弧全方位防护：

内置电弧灭弧、电弧计数、电弧跳闸三重功能，可在毫秒级响应电弧故障，避免高压击穿对晶圆和设备造成损伤；选配“电弧跳闸（AT*）”功能后，首次电弧出现时即自动关闭电源，为晶圆等高价工艺提供“零风险”保护。

3    贴合半导体多样化需求     

半导体制造各环节差异显著，HY-SL系列通过灵活配置与兼容性设计，实现“一源多能”，覆盖多类核心场景。

宽域规格覆盖：

电压涵盖1kV-130kV，功率覆盖10W-1200W，适配离子束控制（低功率高精度）、电容充电（高功率稳定输出）、高压绝缘测试（高电压）等不同工艺；支持正极性（P）、负极性（N）、可逆极性（PN）输出，无需更换设备即可完成半导体正反向高压测试，提升产线切换效率。

通用接口与定制化：

配备26 针接线端子，支持远程电流/电压编程（0-10V 对应0-100% 额定输出）、功率监测等功能，可无缝对接半导体中控系统；提供“恒功率控制（CPC）”“浮地（FG/FGLL）”等选配功能，例如 FGLL 通过屏蔽罩捕获泄漏电流，精准测量高压电流，避免接地干扰影响工艺，满足半导体特殊场景需求。

3    本地服务，赋能产业高效运转     

航裕电源凭借本地化研发与生产基地，构建了“7×24 小时技术支持+3年质保”的服务体系，为高端制造消除后顾之忧：

快速响应，减少停工损失：从设备选型、参数定制到现场调试，专业工程师团队4小时内响应需求，对于半导体产线紧急故障可实现“远程指导+24 小时现场支援”，售后效率是进口品牌的3倍以上。

从“空间优化”到“精度突破”，再到“场景适配”，HY-SL系列不仅实现了对进口高压电源的高效替代，更凭借“小体积 + 强性能”的差异化优势，为半导体行业提供“超越标准”的能源解决方案。

未来，航裕将持续深耕半导体、新能源、低压电器等高端行业需求，以更前沿的技术、更优质的产品，为中国高端制造业的自主升级注入强劲动力！

4    产品选型表