HFO-100型铪基铁电薄膜测试仪

关键词:Hfo2, 铪基铁电,铁电薄膜，疲劳，电滞回线  

一、产品介绍:HFO-100型铪基铁电薄膜测试仪是一款高量程款的铁电性能材料测试装置，这款设备可以适用于铁电薄膜、铁电体材料(既可块体材料)的电性能测量，可测量铁电薄膜电滞回线、可测出具有非对称电滞回线铁电薄膜值。可以进行电致应变测试，可以蝴蝶曲线功能，设备还可以扩展高温电阻，高温介电，电容-电压曲线，TSC/TSDC等功能。铁电材料的大规模应用源自钙钛矿结构钛酸钡铁电体的发现，直到今日钙钛矿铁电体仍然是无机铁电体中的主流。然而，在微纳电子应用中，与 CMOS 工艺更兼容的铪基铁电薄膜逐渐成为研究热点。本仪器是从事压电材料及压电元件生产、应用与研究部门的重要设备之一，已经在各大高校和科研院所广泛使用。

氧化饸铁电材料的崛起

传统的钙钛矿类铁电材料由于尺寸难以进一步缩小，已经难以满足现代集成电路对高密度与高集成度的需求。而氧化铪(H0)基铁电材料凭借其卓越的微缩能力和与现有 CMOs 工艺的兼容性，成为近年来铁电研究的热点材料。氧化铪材料的出现标志着铁电材料从传统迈向现代，开启了存储器应用的新纪元。

主要功能:

高存储密度:单个存储单元由一个晶体管构成，可实现高密度集成;
低功耗:极化翻转所需能量低于传统存储器:
高速性:操作速度小于20 纳秒，适合实时性要求高的应用场景;

非破坏性读取:避免数据读取过程中对存储状态的破坏，提高整体存储效率；

二、主要技术指标:

1、输出信号电压::±100 V可扩展电致应蝴蝶曲线功能1、
2、温度;室温-200℃，控温精度:±1℃
3、控制施加频率 0.01到 1KHz(陶瓷、单品，薄膜)PC 端软件控制自定义设置;

4、控制输出电流0到土50m 连续可调，PC端软件控制自定义设置。
5、动态电滞回线测试频率范围0.01Hz-1kHz
7、最小脉宽保持时间为 20us;最小上升沿时间为 10us;
疲劳测试频率 500kHz(振幅 10 Vpp，负载电容1r);8、
9、测试速度:测量时间《5 秒/样品"温度点
10、样品规格:块体材料尺寸:直径 2-100mm，厚度 0.1-10mm

11、主要功能:动态电滞回线 DH，静态电回线 SH，I-V特性，脉冲 PUND，疲劳Fatigue，电击穿强度 BD，漏电流 L，电流-偏压，保持力 ，10.电荷解析度不小于 10 mc:漏电流测量范围:1pA~20 m，分辨率不低于 0.1pA:

12、控制方式:计算机实时控制、实时显示、实时数据计算、分析与存储

13、软件采集:自动采集软件，分析可以兼容其他相关主流软件。

14、测试精度:±0.05%
15、内置电压:±20V
16、可增模块:
印迹印痕 IM
变温测试 THI
POM 模块实现极化测量功能
CVM模块实现小信号电容测试，获得C-V曲线

PZM 模块实现压电特性测试

DPM 模块测试介电性能

RTM模块测试电阻/电阻率性能

CCDM 模块实现电容充放电测试。

17、探针台(选配):

规格/参数
型号		MPS-4	MPS-6		MPS-8		MPS-12
电力需求		220VC,50-60HZ
样品台	尺寸	4寸	6寸		8寸		12寸
	行程	XY行程50mm，Z轴升降60mm，360°旋转可锁紧
	移动精度	标配10μm，可升级（5μm，3μm，1μm）
	背电极测试功能	可以引出电极	可以引出电极		可以引出电极		可以引出电极
	定制模块	可定制位移行程和精度	可定制位移行程和精度		可定制位移行程和精度		可定制位移行程和精度
探针调整座	XYZ行程	13mm-13mm-13mm
	机械精度	标配10μm，可升级（5μm，3μm，1μm）
	漏电精度	10pA-100fA（配置屏蔽箱）
	安装方式	直接磁力吸附/可调磁力吸附/真空吸附
	接口形式	香蕉插头/鳄鱼夹/同轴BNC/三同轴BNC
光学成像	放大倍数	7-200倍（最大可升级到720倍）
	CCD像素	500W（可升级200W）
	中心距离	140mm，升降范围270mm，总高度350mm
	显示器	8寸显示器，将3-17mm的样品放大到整个屏幕（可升级大尺寸显微镜）
可选附件		加热卡盘		高低温卡盘		镀金卡盘
		隔振支架		积分球测试选件		屏蔽箱
		射频测试附件		导入光源支架		波长单色可调光纤光源（测光电流）
		显微镜调节手动/电动调节装置		激光切割显微镜		转接头配件

 

美国TF-2000测试数据对比图

美国 TF-2000测试数据对比图