航智高精度电流传感器在半导体设备制造商中的应用解决方案

一、行业背景：半导体设备从“能运行”走向“长期稳定运行”

对于半导体设备制造商（Equipment Maker）而言，刻蚀、薄膜沉积、离子注入、化学机械抛光（CMP）等核心设备的竞争力，早已不再停留在“设备是否能正常工作”，而是集中体现在以下三大关键能力上：

工艺过程的长期稳定性；同型号设备之间的高度一致性；设备长期运行后的关键参数抗漂移能力。

在上述能力体系中，关键电源与负载回路中的真实电流数据是支撑设备闭环控制和工艺稳定性的基础数据源。电流测量是否精准、稳定、可长期复现，直接决定了设备工艺控制的上限。高精度电流传感器，正是实现这一基础能力的核心器件。

 

二、典型应用场景解析
（一）设备关键回路电流的高精度在线监测
1. 典型应用位置

航智高精度电流传感器广泛应用于半导体设备中的关键电流回路，包括但不限于：

高功率直流电源输出端；射频（RF）电源前级直流母线；加热器、电磁线圈、电机驱动等负载回路。

2. 应用实现方式

航智基于磁通门闭环技术的高精度电流传感器，可直接串接于设备关键回路，为设备 PLC 或主控板提供：

低噪声、低漂移的实时电流反馈信号，高一致性、可长期复现的测量数据。

其核心作用体现在三个方面：支撑工艺过程的精密闭环控制；实现设备运行状态的实时监测；对异常电流进行快速识别与预警，提升设备安全性与可靠性。

（二）设备一致性调校与出厂标定应用

在半导体设备的出厂检测、整机调试及现场安装校准等关键阶段，航智高精度电流传感器可作为计量级参考器件使用，承担以下核心任务：

校准设备内部电流检测通道的测量偏差；修正不同批次、不同设备之间的一致性差异；保障同型号设备关键工艺参数的可复制性。

通过引入高稳定、高一致性的电流参考基准，设备制造商可显著降低“设备个体差异”对工艺结果的影响。

 

三、解决方案核心优势

本方案采用航智自主研发的磁通门闭环电流测量技术，在半导体设备应用中具备以下四大核心优势：

1、测量精度高：满足半导体设备对精密工艺控制的电流测量要求

2、零点漂移小、温度漂移低：保障设备长期运行条件下测量结果稳定可靠

3、抗电磁干扰能力强：适应半导体设备内部复杂电磁环境

4、长期稳定性优异：适合设备全生命周期内持续、可靠工作

 

四、为设备制造商带来的核心价值

通过在关键回路引入航智高精度电流传感器，半导体设备制造商可获得以下直接价值：

显著提升设备工艺稳定性与可控性；提高同型号设备之间的一致性水平；增强产品在高端市场的可靠性与竞争力。航智高精度电流传感器作为半导体设备中的关键基础部件，为设备的高端化、精密化、长期稳定运行提供可靠支撑，是设备制造商提升核心竞争力的重要配套选择。