汉威科技解决方案护航半导体工厂气体安全

导读

当半导体行业持续快速扩张，市场规模即将突破1万亿美元大关，气体泄漏检测“盲点”如何破解？

半导体行业繁荣背后

气体泄漏检测存“盲点”

随着AI、芯片、具身智能等行业的迅猛发展，半导体行业也迎来新一轮产能扩张潮。据瑞银预测，2026年，全球半导体行业同比增速将超过40%，市场规模将首次突破1万亿美元。

在半导体行业快速扩建投产的进程中，气体安全至关重要。电子特气具有可燃、有毒、有害特性，广泛应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等制造工艺。在气体存储、输送、使用过程中，可能出现气体泄漏，威胁工作人员生命安全。依据《特种气体系统工程技术标准》(GB50646-2020)，需安装气体探测装置对其进行持续性泄漏监测。

值得注意的是，部分电子特气化学性质稳定，如NF3、C5F8、 C4F6、 CH2F2、CH3F等，传统的基于电化学传感器的气体探测器无法对其直接检测，性能稳定性气体成为半导体工厂中的安全检测“盲点”。

怎么确定待测气体中是否存在这类稳定气体，以及如何测定其具体浓度呢？

一个确切可行的思路就是，先将待测气体通过热裂解方式，转化成可被检测的气体，进而逆向推算出是否存在目标气体及其浓度。这种“曲线救国”式探测方案的关键就在于热裂解单元。

国内首创安全组合

汉威热裂解单元+气体检测仪

汉威科技集团推出国内首创、自主研发的热裂解单元GD-PU10、半导体工厂气体检测仪GD-HS10，可探测包括性能稳定性气体在内的上百种可燃、有毒、有害气体。该产品已取得多项发明专利，核心性能行业领先，适用于半导体、液晶面板、光伏和电池制造等领域。

可扩展探测性能稳定性气体

热裂解单元GD-PU10可通过持续高温环境将化学性质稳定的含氟气体裂解为化学性质活泼的HF（氟化氢）气体，搭配半导体工厂气体检测仪GD-HS10，可扩展探测NF3、C5F8等多种含氟气体。

上百种传感器即插即用

传感器采用模块化设计，即插即用，更换维护灵活方便，支持搭配电化学、催化、光学等多种原理传感器，满足不同客户的个性化需求。

ppb级高精度检测

每种气体传感器均采用对应温度补偿及融合算法，可实现ppb级高精度检测，灵敏度高、响应速度快，核心性能业内领先。

30米远距离检测

搭配超稳定电磁泵吸模块，进气管最长可达30米，轻松进行远距离检测，便于多个检测仪产品矩阵化集中管理。

目前，汉威科技集团的热裂解单元GD-PU10、半导体工厂气体检测仪GD-HS10已成功应用于多家半导体制造工厂，获得客户的广泛认可。

结语

电子特气是半导体行业“芯片血液”，气体安全是高质量发展的基石。汉威科技集团作为气体传感器与安全仪表领域的领军企业，将以高端自研传感器为核心的智慧安全解决方案护航半导体行业安全。