MEMS/传感技术
未来,传感器将围绕工艺技术和应用两大方向进行突破:一是敏感机理创新与突破,通过提高材料、工艺、微型化、产业化等基础水平实现;二是智能化,功能集成化、模块化、网络化,通过搭建应用桥梁、突破瓶颈、拓展市场空间等手段实现。智能化的三大基础核心技术是:MEMS工艺技术、无线网络化技术以及微能量获取技术。
著名电子元器件专家谭克研先生做了题为《基于力学模型的应变式扭矩传感器的设计研究》的学术报告。谭克研在报告指出,随着科学技术的发展,尤其是在机器人、汽车工业、机械加工等领域,越来越多地要求测量动态非电量或在运动过程中测量非电量,而传感器处于被测对象与测试系统的接口位置,故对其性能的要求越来越高。应变式传感器由在弹性元件上粘贴电阻应变敏感元件构成,广泛应用于力、力矩、压力及加速度等参数测量。
为了解决多维力传感器各输出通道之间相互耦合的问题,改善传感器综合性能,提高测量精度,谭克研针对典型弹性元件理论分析的基础上,谭克研提出了5种应变式扭矩传感器的实现形式,并对其应变、变形及扭振固有频率进行了理论研究,分别建立了对应的力学模型。依据所建立的力学模型,以扭转变形最小为目标函数,进行了弹性元件几何尺寸的优化设计,并分析了不同形式的扭矩传感器性能差异。
最后,谭克研设计了一种应变式扭矩传感器,并对其进行了有限元仿真,仿真结果很好地验证了所建立的力学模型,所建立的力学模型可以较好地解决应变式扭矩传感器的设计计算问题。谭克研的精彩报告赢得了与会专家、企业代表的一致认可和高度赞誉。
沈阳新松机器人自动化股份有限公司中央研究院院长邹风山作了题为《机器人传感器技术的发展》的演讲。
邹风山对传感器技术的未来进行了展望,他表示,传感器技术将向5个方向发展
智能化:传感器将与人工智能技术相结合,形成智能传感器;
可移动化:充分利用无线传感网络技术,技术关键在于克服节点资源限制;
微型化:在微型化的同时,降低功耗、提高精度、集成化等;
集成化:形成多功能一体化传感器,集成度高、体积小、容易实现补偿与校正;
多样化:新材料技术的突破加快了多种新型传感器的涌现,该研究方向主要与新材料的发展息息相关。
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