新品发布：Z4001C——高精度PXIe LCR Meter

引言

最新突破：联讯仪器隆重推出Z4001C，20Hz~2MHz、DC Bias ±40V、Precision PXIe LCR Meter

半导体测试、汽车电子、无源器件行业正在经历同一场变革：测试频率向MHz级跃升，偏置电压逐渐突破40V。与此同时，要求单工位测试效率持续提升。

传统台式LCR表在产线部署中面临两难困境——增加机台保住了效率，却撑爆了机柜；减少通道保住了空间，却降低了产能。市场对阻抗测试的诉求，正从“单台性能”转向“系统密度”。

基于 PXIe 架构的模块化仪表所具备的优势，在此时得到充分彰显。20Hz-2MHz全频段5位分辨率、0.05%基本精度、±40V内置偏置，全部压缩进双槽3U板卡。该方案无需外接偏置源，无需在精度与通道数之间取舍。单机箱可扩展至8张Z4001C（18槽PXIe机箱），支持多卡同步触发或与PXIe SMU等模块混插，直接提升并行测试吞吐量。

产品优势

基准精度：0.05%基本精度，高低阻抗测量皆可信赖。

宽频精密：20Hz-2MHz全范围5位分辨率。支持全频段特性扫描。

高偏置能力：内置±40V直流偏置，省去外置偏置源及线缆，降低系统复杂性，避免噪声引入。

高效扫描：100万点海量扫描，快速构建器件阻抗-频率-偏置三维特性图谱。

采用PXIe模块化架构，支持自定义大批量集成

·基于PXIe协议，支持多卡同步触发或并行测试；单机箱最大支持8张Z4001C板卡扩展。

·可以与PXIe SMU 等其他PXIe 仪表组成多功能测试设备。

·采用标准SCPI进行控制，提供C#、Python、C/C++、LabVIEW编程语言接口，大幅降低测试系统中的软件集成难度。

典型应用

半导体晶圆与器件测试

在晶圆级参数测试中，需对晶圆上每一个芯片完成CV/IV特性提取与工艺参数监控；MEMS及集成无源器件（IPD）则要求精确表征微型传感器的电容和谐振特性。高密度PXIe LCR方案在单机箱内集成多块板卡，配合开关矩阵实现全自动化测试。

无源器件量产测试

多层陶瓷电容器（MLCC）产线需在高吞吐量下同步验证容值、损耗及偏压特性；电感与无源滤波器则面临多工位感量、Q值并行测试的产能压力。多通道高密度直接提升产线节拍，显著降低单件测试成本。

研发验证与特性分析

功率电感与变容二极管的表征需在不同频率及±40V高直流偏置电压下完成扫描；材料研究领域常要求执行百万点级精细扫描以绘制完整特性图谱。内置高压偏置与海量扫描能力支撑深度分析，模块化架构更便于集成多种仪器，灵活构建混合测试系统。

联讯仪器，不止仪器

联讯深知，使用高精度工具需要一定经验。为此，我们准备了：

开箱即用的测量软件：内置针对常见半导体器件的测试算法，减少您的设置时间。

详尽的应用笔记：围绕常见测量场景及问题，提供一步步的操作方法和数据分析建议。

专业的技术支持：联讯应用工程师团队随时准备为您解答在测量搭建和数据分析中遇到的具体问题。

审核编辑 黄宇