致真精密仪器助力广东工业大学集成电路学院科研团队发表重要成果

近日，广东工业大学集成电路学院科研团队在合成反铁磁斯格明子体系的拓扑霍尔效应研究领域取得重要进展。该研究以题为“Observation of topological Hall effect in synthetic antiferromagnetic skyrmion system”的论文发表于应用物理领域权威期刊《Applied Physics Letters》。致真精密仪器自主研发的AtomEdge Pro原子力显微镜（磁力显微镜 MFM模式）为该研究提供了零场磁力显微镜(MFM)测试支持，成功完成 [Pt/Co/Ru]₂基合成反铁磁体系的零场斯格明子形貌观测，为该研究的关键结论提供了直接且可靠的形貌实验证据。

▲《Applied Physics Letters》期刊论文截图。

 

 

▲图(a)、(b) 中绿色星号标记的图像为使用致真精密仪器 AtomEdge Pro设备采集的零场磁力显微镜(MFM)图像，展示了在μ₀H=0 条件下，[Pt/Co/Ru]2基合成反铁磁体系中稳定存在的单个SAF斯格明子形貌。

在该研究中，科研团队聚焦于[Pt/Co/Ru]2基补偿型与非补偿型合成反铁磁斯格明子体系的拓扑霍尔效应研究，而零场条件下斯格明子的存在性与稳定性观测，是表征该体系磁结构的重要环节。致真精密仪器AtomEdge Pro原子力显微镜，承担了本次研究的零场MFM测试工作，针对两种核心样品开展精准观测：一是非补偿型 SAF样品（Co 层厚度x1=1.6 nm、x2=1.8 nm），二是全补偿型SAF样品（Co 层厚度 x1=x2=1.7 nm），完成了对两种样品零场下斯格明子形貌的采集。

测试结果显示，研究团队在μ₀H=0的零外磁场条件下，清晰观测到 [Pt/Co/Ru]2基合成反铁磁体系中稳定存在的单个SAF斯格明子：非补偿型样品中的斯格明子直径约 250 nm，全补偿型样品中的斯格明子直径约 150 nm，两种斯格明子在零场下均稳定存在，为该体系斯格明子的零场稳定存在提供了直观的形貌学证据。同时，该观测结果与后续外磁场下的 MFM 测试形成对照，证实了该体系斯格明子在零场至20 mT 磁场范围内的结构稳定性。

AtomEdge Pro原子力显微镜的零场MFM测试直接提供了实空间的微观磁结构证据，证实了[Pt/Co/Ru]2基合成反铁磁斯格明子在补偿态与非补偿态下均具备零场稳定性。这一结果完善了对该体系磁结构特性的认知，为拓扑霍尔效应的观测提供了必要的磁结构形貌依据。

AtomEdge Pro多功能原子力显微镜

AtomEdge Pro多功能原子力显微镜可对材料、电子器件、生物样本等进行亚纳米级三维扫描成像及表征，广泛应用于材料科学、化学与环境科学、半导体、微电子、生物医药等领域。具备接触、轻敲、非接触等多种工作模式，为用户提供了更为灵活和精准的操作选择。此外，它还集成了磁力显微镜、静电力显微镜、开尔文探针力显微镜、压电力显微镜等多种功能模式，稳定性强，可拓展性良好。同时，可根据用户需求灵活定制功能模块，为特定研究领域提供针对性解决方案，实现一机多用的高效检测平台。社会上习惯于把科学和技术连在一起，统称为科学技术，简称科技。持续增长的科技创新离不开科研经费的支撑。

致真精密仪器

致真精密仪器聚焦高端科学仪器与集成电路测试设备的技术突破与自主研制，深耕微纳表征、磁学测量、低温强磁物性表征、半导体量检测等领域，通过核心技术攻关与工程化落地，已成功推出系列高端科研级设备与产业级解决方案：

科研级核心设备：原子力显微镜（微纳形貌表征核心设备）、高精度 VSM（振动样品磁强计）、磁光克尔测量系统、常温/变温磁场探针台系列、低温强磁场光学测量平台等；

产业级解决方案：晶圆级MOKE测量仪、隧穿磁阻比率测量仪、自旋芯片FT测试机等量检测设备。

携手推进科研创新与技术转化，共筑核心技术竞争力，期待与您深度合作！