清华大学圆满完成了MEMS振动传感器样品的检测任务

MEMS传感器是利用集成电路技术工艺和微机械加工方法将基于各种物理效应的机电敏感元器件和处理电路集成在一个芯片上的传感器。具有体积小、质量轻、功耗低、灵敏度高、可靠性高、易于集成以及耐恶劣工作环境等优势，从而促进了传感器向微型化、智能化、多功能化和网络化的方向发展。

MEMS振动传感器可用于机械中的振动和位移、转子与机壳的热膨胀量的长期监测；生产线的在线自动检测和自动控制；科学研究中的多种微小距离和微小运动的测量等。MEMS振动传感器已广泛应用于能源、化工、医学、汽车、冶金，机器制造，军工，科研教学等诸多领域。

MEMS振动传感器作为获取信息的关键器件，对各种传感装置的微型化起着巨大的推动作用。随着MEMS技术的快速发展使得MEMS传感器受到各发达国家的广泛关注，纷纷将MEMS传感器技术作为战略性的研究领域之一，并制定相关的计划并投入巨资进行专项研究。

近期，国家光电子中心圆满完成了清华大学科研成果——MEMS振动传感器样品的检测任务。

MEMS振动传感器既是国家高技术研究发展计划(863计划)制造装备检测用多功能微纳传感器专项的科研成果，也是针对武汉锅炉股份有限公司关于在超高温条件下监测锅炉内振动环境要求的研制成果。

科研成果验收是科研创新的关键所在，检验检测则是科研成果验收的主要手段。MEMS振动传感器属于科研成果，在国内还没有相关的测试标准。按照该项目验收要求，国家光电子中心与项目科研人员充分沟通交流，结合国家相似类别设备标准提出检测方案，并通过检测结果表明该传感器已达到设计目标，凸显了检验检测对科技创新的基础支撑作用。

MEMS传感器作为国际竞争战略的重要标志性产业，以其技术含量高、市场前景广阔等特点备受世界各国的关注。近十年来，中国MEMS传感器产业生态系统也正逐步完善，从研发、设计、代工、封测到应用，完整产业链已基本形成，国家对MEMS传感器行业也给予了前所未有的政策支持。

我国MEMS产业发展面临了重大的机遇，特别是移动互联网和物联网的快速发展，将对MEMS产业产生深远的影响，并将催生大量新的产品、新的应用，带动MEMS产品在日常生活及工业生产中的普及化。