致真精密仪器晶圆级原子力显微镜成功交付北京大学

近日，致真精密仪器自主研发的晶圆级原子力显微镜在北京大学集成电路学院顺利完成交付及验收。此次交付验收，标志着公司在高端微纳表征设备领域取得了又一重要进展，以自主创新的硬核实力，为顶尖学府的科研攻关提供精准可靠的支撑。

作为国内顶尖高等学府的北京大学，其集成电路学院在微电子、半导体材料与器件等前沿领域科研实力雄厚。此次学院选择致真精密仪器晶圆级原子力显微镜，是对公司技术与产品品质的高度认可。该设备凭借高分辨率、高稳定性及晶圆级样品兼容优势，将为北京大学相关领域的基础研究与技术创新提供强有力的硬件支撑。

设备交付验收期间，致真精密仪器技术团队全程跟进，为北大科研人员提供了细致的设备调试、操作培训及技术讲解服务，确保科研人员能够快速熟练掌握设备操作，充分发挥仪器的高性能优势，助力科研工作高效推进。

作为高端科学仪器的深耕者，致真精密仪器的足迹已遍布国内多所顶尖高校与科研机构。此次合作标志着致真精密仪器晶圆级原子力显微镜正式进入顶级科研场景，为进一步拓展高端仪器在半导体、新材料等战略领域的应用奠定了坚实基础。

未来，致真精密仪器将继续秉持自主创新理念，持续提升产品性能与服务品质，推动更多核心装备落地高校与科研院所，为前沿科学研究提供坚实可靠的技术支撑。

晶圆级原子力显微镜

晶圆级原子力显微镜利用微悬臂探针结构可对导体、半导体、绝缘体等固体材料进行亚纳米级三维扫描成像，可实现晶圆级大样品形貌表征。电动样品定位台与光学图像相结合，可在200X200 mm区域实现1 μm的定位精度，光学结构与扫描头集成一体，自动化程度高，操作便捷。

应用案例

致真精密仪器

致真精密仪器聚焦高端科学仪器与集成电路测试设备的技术突破与自主研制，深耕扫描探针显微镜、精密磁测量、低温多物性测试、半导体量检测等领域，通过核心技术攻关与工程化落地，已成功推出系列高端科研级设备与产业级解决方案：

科研级核心设备：原子力显微镜（微纳形貌表征核心设备）、高精度 VSM（振动样品磁强计）、磁光克尔测量系统、常温/变温磁场探针台系列、低温强磁场光学测量平台等；

产业级解决方案：晶圆级MOKE测量仪、隧穿磁阻比率测量仪、自旋芯片FT测试机等量检测设备。