半导体“先进封装(ASP)”工艺技术的详解;

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在现代科技的浪潮中,半导体产业一直是推动经济发展的重要引擎。尤其是在今天,人工智能、物联网、数据中心和智能驾驶技术迅猛发展,对半导体的需求呈现出前所未有的增长。在这一背景下,半导体的先进封装技术显得尤为重要,成为各大科技公司争先恐后布局的关键领域。让我们一起深入探讨这一技术的演变历程及其未来展望。

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一、先进封装技术的定义

先进封装,英文全称:Advanced Semiconductor Packaging,简称:ASP。不过,在半导体行业的实际交流和技术文档中,更常见的方式是直接使用 "Advanced Packaging" 这个说法,或者指代具体的技术类型。

先进封装(ASP)是一种为满足更高性能、更小尺寸、更低功耗和更高集成度需求而开发的尖端芯片封装技术。它被视为半导体行业延续摩尔定律、实现“超越摩尔”(More than Moore)的关键技术,通过在系统级别实现性能、功耗和尺寸的最优平衡,来提升电子设备的性能和能效,同时降低其尺寸和重量。

另外,为了方便大家查阅资料,下表列出了先进封装(ASP)领域中一些关键技术的英文全称及常用简称,这些技术通常组合使用,例如 "3D TSV" 或 "FOWLP + SiP",以实现更高密度的集成:

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二、先进封装(ASP)技术的起源与发展

回溯到1998年,Flip Chip Technologies的Elenius和Hullack提出了RDL(再布线层)工艺,并获得了Ultra CSP技术专利,这一创新标志着晶圆级封装(WLP)时代的开启。从那时起,先进封装经历了不同阶段的发展,从最初的2D封装逐步演变到如今的3D封装,技术类型不断扩展,如2D扇出型(先上晶)IC集成、2D倒装芯片IC集成,以及更为复杂的系统级封装(SiP)等。

当前,先进封装(ASP)技术已经不仅仅是一种技术选择,它也是一种战略选择。面对日益增长的市场需求和技术壁垒的挑战,尤其是在美国对中国半导体技术的压制下,中国的半导体行业正通过发展先进封装(ASP)技术来提高系统集成度和产品性能。例如,2.5D和3D集成技术的应用,使得芯片能够在更小的体积内实现更强的运算能力,这无疑对整个行业产生了深远的影响。

另外,在先进封装(ASP)领域,2D集成的基础上发展而来的2.1D、2.3D、2.5D及3D集成,显示了工艺上的层次化和复杂化。例如,2D集成技术仅仅是平面布局,而2.1D和2.5D则引入了嵌入式互联桥和硅转接板等结构,大幅提升了信号传输的效率和性能。3D集成更是将多颗芯片通过微凸点在垂直方向堆叠,极大地缩小了芯片之间的距离,降低了延迟,因此成为实现高性能系统的理想解决方案。这种持续的技术创新和演变,使得半导体产品能够在多个领域得到更广泛的应用,同时也推动了整个电子产业链的升级与转型。

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三、先进封装(ASP)技术的关键生态系统

先进封装(ASP)技术是一个涉及材料、设计、工艺、设备等多个领域的复杂系统。在这个生态系统中,各个环节紧密相连,共同影响着封装技术的最终效果。

1、材料选择

封装材料是影响封装性能的关键因素之一。随着封装技术的不断进步,对材料的要求也越来越高。新型封装材料需要具备优良的导热性、导电性、机械强度和化学稳定性等特性,以确保封装后的芯片能够在恶劣环境下稳定运行。

2、设计优化

先进封装(ASP)技术的设计环节至关重要。设计师需要根据芯片的功能需求、性能指标以及制造成本等因素,综合考虑封装形式、引脚布局、散热结构等多个方面,以实现最佳的性能和成本效益。

3、工艺流程

先进封装(ASP)技术的工艺流程复杂而精细,包括晶圆减薄、芯片切割、引脚制作、封装焊接等多个步骤。每个步骤都需要精确控制工艺参数,以确保封装质量和良率。

4、设备支持

先进封装(ASP)技术的实现离不开高精度的制造和测试设备。随着封装技术的不断创新,设备厂商也在不断改进和升级设备性能,以满足更高精度的制造和测试需求。

在这个生态系统中,各个环节相互依存、相互促进,共同推动着先进封装(ASP)技术的发展。然而,随着技术的不断进步,先进封装(ASP)技术也面临着越来越多的挑战,其中可靠性问题尤为突出。

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四、先进封装(ASP)的技术的分类

如果讲“先进封装(ASP)技术”的分类,这要看从哪个方向去分了,当前我们可按互连技术和封装种类来分,具体情况如下:

1、按互连技术分类

(1)硅通孔(TSV)技术

TSV是一种在芯片内部制造垂直通孔,并通过这些通孔实现芯片间或芯片与基板间电气连接的技术。TSV技术极大地提高了芯片间的互连密度和速度,是实现三维封装的关键技术之一。

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(2)微凸点(Micro Bump)技术

微凸点技术通过在芯片表面制作微小的金属凸点来实现芯片间的精确对位和电气连接。这种技术常用于倒装芯片封装中,能够提供高密度、低电阻和低电感的连接。

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(3)嵌入式多芯片互连桥(EMIB)技术

EMIB技术是一种在封装基板内部构建高速互连桥的技术,用于连接封装体内的多个芯片或功能模块。这种技术可以实现芯片间的高速、低延迟通信,提升系统的整体性能。

(4)无线互连技术

虽然目前无线互连技术在先进封装(ASP)中的直接应用还较为有限,但随着无线技术的不断发展,未来可能会看到更多基于无线互连的先进封装(ASP)解决方案,如使用无线信号传输代替部分有线连接,以实现更高的灵活性和可扩展性。

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2、按封装种类分类

(1)无基板直接封装(No Substrate)

是指在半导体封装中不使用传统的封装基板,作为芯片与外部电路之间的载体。而是直接在晶圆上构建互连结构,实现封装功能。

无基板封装的两大代表类型:WLCSP,Fan-Out。

a. WLCSP

晶圆级封装,在晶圆完成后直接在晶圆上进行封装和凸点形成;

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b. Fan-Out

将裸芯片嵌入环氧模料中,通过重新布线(RDL)把芯片的I/O扇出到模塑区域外,不用基板,但可以实现比WLCSP更高的I/O和更复杂的电路布线。

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(2)有机基板(Organic Substrate)

是以有机树脂为绝缘材料、铜箔为导体的封装基板,在芯片与系统主板之间扮演着“桥梁”角色,承担电气连接、机械支撑、散热和保护四大功能。它是当前封装基板市场中占有率最高的类型,广泛应用于从消费电子到AI服务器的各类芯片封装。

Wire-bond下的术语及其解释:

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(3)倒装(Flip-Chip)

是一种将芯片有源面(电路面)朝下,通过凸点直接与基板或引线框架互连的先进封装技术。与传统“面朝上”用引线键合的方式不同,倒装让芯片“翻了个身”,实现了最短的电气路径。

Flip-Chip下的术语及其解释:

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(4)金属框架(Leadframe Substrate)

是半导体封装中的一种金属结构件,作为芯片的载体,通过键合线(金丝、铜丝等)实现芯片内部电路与外部引脚的电气连接,同时起到机械支撑芯片和散热的作用。

Leadframe Substrate下的术语及其解释:

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(5)陶瓷基板(Ceramic Substrate)

是以陶瓷材料为绝缘基体,通过表面金属化工艺形成导电线路的封装基板,在半导体封装中扮演着高热导率、高绝缘性、高可靠性的核心角色。它是功率电子、高频射频、军工航天等领域不可替代的关键材料。

Ceramic Substrate下的术语及其解释:

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五、先进封装(ASP)技术的最新进展与趋势

关于先进封装(ASP)技术的最新进展与趋势部分,就是本章节要跟大家分享的重点,如有不足或是遗漏之处,希望大家一起多多交流,具体内容如下:

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六、先进封装(ASP)技术的优势

其实,先进封装(ASP)的优势可以概括为:在单一芯片性能提升遇到瓶颈时,通过系统级整合,实现性能、功耗、尺寸和成本的全面优化。

简单来说,传统封装主要是为了保护芯片并实现与外部的电气连接,而先进封装(ASP)的核心价值在于“系统重构”。它不再将多个功能芯片简单地拼在一起,而是通过更精密的技术,让它们紧密协作,形成一个功能更强大、效率更高的微型系统。因此,概括起来,先进封装(ASP)的优势主要体现在以下方面:

1、性能提升

先进封装(ASP)允许结合更小、成本和性能优化的裸片。这些组件可以在先进基板上更紧密地放置,数据传输速率比最新主板快35倍。

具体来讲:通过2.5D/3D封装和混合键合等技术,可以将不同芯片(如CPU和HBM高带宽存储器)在极短的物理距离内实现超高密度的互连。这大大缩短了数据传输路径,从而实现了更高的带宽和更低的延迟,为AI训练、高性能计算等任务提供了澎湃动力。

2、成本降低

这是先进封装(ASP)带来的独特商业优势。通过选择多个较小的芯片而不是单个大型片上系统(SoC),制造商可以为每个异构集成的裸片选择不同的节点尺寸。这种方法可以将制造成本降低多达50%。

具体来讲:通过Chiplet(芯粒) 技术,一个复杂的系统芯片(SoC)可以被拆分成多个功能更专一、面积更小的芯粒。其中,计算核心可以使用昂贵的先进制程,而I/O、存储等模块则使用成熟且便宜的制程制造,然后通过先进封装(ASP)集成。这种方法不仅大幅提升了良率,也显著降低了总体成本。

3、尺寸缩小

先进封装(ASP)可以显著减少复杂系统的占用空间。例如,英飞凌通过先进封装将其Optireg线性电压控制器的部件占用空间减少了60%。

具体来讲:通过扇出型封装和系统级封装(SiP)等技术,可以将多个芯片、无源器件等整合进一个紧凑的封装体内,甚至能做到与芯片本身大小相当。这使得终端电子产品(如手机、智能手表)得以实现更轻薄、更小巧的设计。

4、更快上市

像英特尔这样的公司已经表明,从单个大型SoC转向多个裸片可以将上市时间缩短多达75%。

5、功率效率

先进封装(ASP)中的近距离互连大大降低了功耗,使驱动大型语言模型(LLM)的数据中心在经济上更加可行。

具体来讲:更短的连接距离意味着寄生电容和电阻的降低,芯片间通信所需的功耗显著减少。同时,由于芯片可以贴得更近,甚至垂直堆叠,整个系统的功耗相比分散的PCB方案大幅下降,这对于数据中心和移动设备尤为关键。

因此,当芯片的制程微缩越来越难、越来越贵时,先进封装(ASP)提供了一条全新的“超越摩尔”的赛道。它不再执着于把单个晶体管做得更小,而是思考如何把不同的功能模块搭得更好、连得更快。因此,优势在于系统级的整体效率,而非仅看单一芯片的性能。这些优势也让其在AI处理器、高性能计算、5G通信、自动驾驶和高端消费电子等领域成为了标配技术。

总而言之,先进封装(ASP)通过将“系统”概念从电路板层级前移到了芯片封装层级,实现了1+1 > 2的整合效果。

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七、先进封装(ASP)技术的可靠性考虑

可靠性是评价封装技术优劣的重要指标之一。在先进封装(ASP)技术中,可靠性问题主要涉及到以下几个方面:

1、热可靠性

随着芯片集成度的提高,封装体内部的热量积累问题日益严重。如果散热设计不当或材料选择不合适,可能导致芯片过热而损坏。因此,在封装设计中需要充分考虑散热结构和材料的导热性能,以确保芯片在长时间运行过程中能够保持良好的热稳定性。

2、机械可靠性

封装体在运输、安装和使用过程中可能受到各种机械应力的作用,如冲击、振动等。这些应力可能导致封装体开裂、引脚断裂等故障。因此,在封装设计中需要注重结构的合理性和强度分析,以提高封装体的机械可靠性。

3、电气可靠性

先进封装(ASP)技术需要实现高密度的引脚布局和精细的电路连接。如果引脚设计不合理或电路连接存在缺陷,可能导致电气性能下降或发生短路等故障。因此,在封装设计中需要精确控制引脚间距、电路布线和焊接质量等因素,以确保电气连接的稳定性和可靠性。

4、环境可靠性

封装体在使用过程中可能受到温度、湿度、盐雾等环境因素的影响。这些因素可能导致封装材料老化、腐蚀或性能下降等问题。因此,在封装材料和工艺选择中需要考虑环境适应性因素,以提高封装体的环境可靠性。

为了提高先进封装(ASP)技术的可靠性,需要从设计、材料、工艺和设备等多个方面进行综合优化。同时,还需要建立完善的可靠性评价体系和测试方法,对封装体的各项性能指标进行严格把控。

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八、先进封装(ASP)技术的发展趋势与前景

目前,随着物联网、云计算以及人工智能等领域的突飞猛进,市场对于高性能半导体的需求日益上升。根据市场研究机构的数据显示,未来几年,先进封装(ASP)市场将以双位数的速度增长。尤其是在智能手机、汽车电子和数据中心等应用场景中,先进封装(ASP)技术将成为产品竞争的重要法宝。所以,随着半导体技术的不断发展,先进封装(ASP)技术呈现出以下几个主要的发展趋势:

1、更高的集成度

将更多的芯片和元件集成在一个封装体内,以满足电子设备对小型化、高性能的需求。

2、更优的性能

不断提高封装的电气性能、散热性能等,以提升芯片的整体性能。

3、多样化的功能

不仅实现芯片的保护和连接,还能提供如传感器、天线等更多的功能。

4、绿色环保

采用环保材料和工艺,降低对环境的影响。

虽然,先进封装(ASP)正从“生产线末端的打包环节”跃升为“定义系统性能的核心引擎”。技术层面呈现CoWoS持续扩张、CoPoS加速量产、玻璃基板向上突破、CPO迎来拐点的多元并行格局;市场层面供不应求将持续至2027年;产业层面国内企业正加速追赶,国产替代进程稳步推进。可以预见,先进封装(ASP)将在后摩尔时代扮演越来越关键的角色,成为半导体产业的核心增长极。

但是,科技的发展并非一帆风顺。面对复杂的技术壁垒和市场竞争,中国的半导体行业要想在先进封装(ASP)领域取得突破,仍需加大研发投入,提高自主创新能力。正如业内专家所言:“我们应把独特的技术优势转化为市场竞争力。”

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九、中国半导体与先进封装(ASP)技术的未来

中国在半导体技术的崛起,经过多年的努力,已经在一些领域取得了显著的进展。尤其是在先进封装(ASP)技术方面,多家企业如华天科技、长电科技等在技术研发和市场布局上均表现不俗。未来,随着国家相关政策的持续支持,以及企业在技术创新上的不断追求,预计中国将在全球半导体产业中占据越来越重要的地位。

在国际形势复杂多变的今天,依赖外部技术的时代已经一去不复返。通过深化自主研发,尤其是在先进封装(ASP)技术领域的不断突破,中国完全有潜力实现半导体行业的自给自足,并推动经济的高质量发展。

十、写在最后面的话

半导体先进封装(ASP)技术作为提升芯片性能的关键环节,其生态系统和可靠性问题不容忽视。通过深入研究和探索先进封装(ASP)技术的关键生态系统和可靠性考虑因素,我们可以更好地理解和把握这一技术的发展趋势和挑战。展望未来,随着新材料、新工艺和新设备的不断涌现以及设计理念的不断创新,先进封装(ASP)技术将迎来更加广阔的发展空间和应用前景。同时,我们也需要持续关注并解决可靠性等关键问题以确保技术的可持续发展和应用推广。

在未来的发展中,先进封装(ASP)技术将继续向更高密度、更高性能和更低成本的方向发展。同时,随着物联网、人工智能等新兴技术的快速发展,先进封装(ASP)技术也将面临更多的应用场景和需求挑战。因此,我们需要不断加强技术创新和产业升级以推动先进封装(ASP)技术的持续发展和进步。

总体来说,先进封装(ASP)技术不仅是半导体行业的技术突破,更是未来智能经济的重要基础。我们应继续关注这一领域的发展动态,以迎接下一波科技浪潮。无论是技术的进步还是市场的变化,掌握先进封装(ASP)技术都将是半导体企业在未来竞争中的核心竞争力。随着越来越多的企业参与到这一领域的探索与实践中,中国的半导体行业将展现出更加辉煌的前景。

审核编辑 黄宇

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