季丰电子CA实验室高精度痕量阴阳离子分析能力再升级

季丰电子CA实验室拥有赛默飞世尔科技（Thermo Fisher Scientific）Dionex ICS-6000高压离子色谱系统。该设备兼具高灵敏度、高稳定性和多模式分析能力，使实验室提升了在痕量无机阴离子、阳离子及部分有机酸检测方面的技术实力。

一、仪器概述

Dionex ICS-6000 离子色谱系统用于分离阴、阳离子，主要由双泵（DP）、淋洗液发生器（EG）和检测器/色谱单元（DC）组成；

分离的原理是基于离子交换树脂上可离解的离子与流动相中具有相同电荷的溶质离子之间进行的可逆交换和分析物溶质对交换剂亲和力的差别而被分离。

二、检测项目

ICS-6000可覆盖多种极性物质的分离与分析。本实验室目前围绕半导体、实验室环境、材料及化工等领域的需求，主要开展以下检测项目：

1阴离子分析

配备AS18阴离子分析柱，可对以下7种常见无机阴离子进行定性定量分析：氟离子（F-）、氯离子（Cl-）、溴离子（Br-）、硝酸根（NO3-）、亚硝酸根（NO2-）、硫酸根（SO42-）、磷酸根（PO43-）。仪器同时具备小分子有机酸分析能力（如甲酸、乙酸等），能够满足超纯水、洁净室环境及半导体行业的水质与材料质量控制需求。

2阳离子分析

配备CS12A阳离子分析柱，可对以下阳离子进行分析：钠离子（Na+）、铵离子（NH4+）、钾离子（K+）、镁离子（Mg2+）、钙离子（Ca2+）。其中对铵离子（NH4+）的检测是该系统的核心能力之一。该色谱柱对的能有效分离Na+、NH4+离子，能够有效应对高钠基体样品中痕量铵根的检测需求，适用于超纯水及半导体晶圆清洗液等基体中痕量铵根的监控。

三、高灵敏度的检出能力

离子色谱技术的检测灵敏度由其核心组件共同决定。ICS-6000配置的抑制器系统可显著降低淋洗液背景电导，搭配低噪声电导检测器（检测器分辨率≤0.00238 nS/cm），有效提升信噪比，实现极低浓度的离子检测。ICS-6000配合大体积浓缩进样模块（AS-HV）后，检测灵敏度进一步提升，检出限可低至20 ppt（0.02 ppb）级别。系统选用在线淋洗液发生器，仅使用高纯去离子水电解生成淋洗液，实现低背景漂移和高重现性。

四、洁净室空气阴阳离子采样技术

在半导体制造、精密电子组装以及生物医药洁净厂房等领域，空气中微量酸性（如HCl、HF、SOₓ、NOₓ水解产物）和碱性（如NH3、有机胺类）气态化学污染物的监控至关重要。ICS-6000系统与撞击式空气采样器的联用方案，为洁净室空气化学污染物浓度测定提供了可靠手段。

撞击采样法是现行洁净室及相关受控环境中采集并检测空气中可溶性阴阳离子的主流方法之一。根据《洁净室施工及验收规范》（GB 50591-2010）附录H.3中记载的撞击采样法，采样过程通过大气采样器以恒定的体积流量将洁净室空气引入装有超纯水的采样瓶中，空气与瓶中超纯水持续接触并发生碰撞，使气流中的可溶性酸性或碱性气体成分被超纯水充分吸收，形成待测样品溶液。采样时长以空气体积足以使待测组分达到仪器的最低检测限为准，通常持续1小时。采集后的样品在7日内完成离子色谱分析。

季丰电子CA实验室的ICS-6000系统具备相关洁净室空气采样分析测试的准备，能够依据现行国家标准或行业规范，为客户提供从现场采样到实验室检测的一站式空气化学污染分析服务。

五、纯水中阴阳离子检测技术

超纯水是半导体制造、光伏、平板显示及高精度化学分析等领域的核心工艺原料。水中残留的痕量无机阴离子（如氯离子、硝酸根、硫酸根）和阳离子（如铵离子、钠离子、钾离子）可能直接导致晶圆表面腐蚀、氧化层缺陷、器件漏电流增加以及良率下降。因此，对纯水、高纯水及电子级水中阴阳离子进行痕量级监控是生产工艺控制和质量保证的关键环节。

纯水中离子含量极低（通常要求主杂质离子浓度低于μg/L甚至ng/L级别），传统直接进样方式受限于进样体积和电导检测器的背景噪声，难以满足检测要求。季丰电子CA实验室采用ICS-6000配合大体积进样及柱前浓缩两种策略结合，实现纯水中阴阳离子的高灵敏度分析。

季丰电子CA实验室建立了完善的电子级超纯水中阴阳离子的分析方法体系，可快速、准确地为客户提供从样品采集、前处理到检测报告的全流程服务。

六、应用领域与服务展望

季丰电子CA实验室（化学分析实验室）以痕量杂质分析为核心技术方向，ICS-6000对实验室在痕量离子浓度测试方面有很好的促进作用。目前，实验室已具备超纯水及洁净室空气中各种阴阳离子杂质的痕量与超痕量分析能力。热忱欢迎半导体、化工及材料等相关行业客户前来咨询和委托检测，邮箱：[e-mail]。

季丰电子

季丰电子成立于2008年，是一家聚焦半导体、先进材料、先进装备、新型能源等领域的软硬件研发及检测类技术服务的赋能型平台企业。公司主营分为四大板块，分别为基础实验室、软硬件开发、测试封装和仪器设备，可为芯片设计、晶圆制造、封装测试、材料装备、新型能源等产业客户提供一站式的软硬件方案、检测分析类技术服务及实验室部署方案。

季丰电子通过国家级专精特新“重点小巨人”、国家高新技术企业、上海市“科技小巨人”、上海市企业技术中心、研发机构、公共服务平台等企业资质认定，通过了ISO9001、 ISO/IEC17025、CMA、CNAS、IATF16949、ISO/IEC27001、ISO14001、ISO45001、ANSI/ESD S20.20等认证。公司员工超1200人，总部位于上海，在浙江、北京、深圳、成都等地设有子公司。