GSG射频测试探针晶圆级测试选型

射频应用中使用的传输线一般为与电路板连接的同轴线缆，以及设置于电路板内部的微带线。射频同轴探针是一种测量装置，用于电子测试设备，对硅片、管芯及开放式微芯片中的电子电路射频（RF）信号进行测量以及连接器组件中窄间距或高密度射频互连应用。今天来聊聊GSG射频测试探针测试选型。
一、射频测试探针
射频测试探针主要用于在芯片仍处于晶圆状态时，对其进行高频电性能测试，无需先将芯片切割封装。探针类型很多，其中GSG（Ground-Signal-Ground）探针因其出色的信号完整性和噪声抑制能力，成为射频和微波测试的主流选择。
GSG探针结构组成是两侧为接地探针，中间为信号探针。这种对称结构能够有效抑制电磁干扰，提供稳定的参考地平面，确保高频信号传输的保真度。探针通常采用高导电性材料如铍铜或钨铼合金制造，表面镀金以提高导电性和耐磨性。
射频同轴 GS 探针，1500 微米间距，DC - 20 GHz，用于对接电缆，3.5mm接口

二、GSG射频测试探针选型
1)关键参数
在选择GSG射频测试探针时，首先需要明确测试频率范围。不同频率的测试需求对应不同的探针设计，高频应用需要更精密的阻抗控制和更低的插入损耗。探针的特性阻抗通常设计为50欧姆，以匹配标准射频系统。
探针间距是另一个重要参数，它必须与被测器件的焊盘间距精确匹配。常见的探针间距包括100μm、150μm和250μm等规格。间距过大会导致探针无法准确接触焊盘，而间距过小则可能造成探针间的信号串扰。
2)探针类型选择
GSG探针主要分为悬臂式和垂直式两种。悬臂式探针具有一定的弹性，能够提供更好的接触压力控制，适合表面平整度较差的晶圆。垂直式探针则具有更优的高频特性，适合GHz级别的高频测试。
在实际应用中，需要根据被测器件的具体特性选择合适的探针类型。例如，对于毫米波频段的测试，通常优先选择垂直式探针以获得更好的信号完整性。
3)耐久性与维护
探针的使用寿命是选型时必须考虑的因素。高质量的探针应该具备良好的耐磨性和抗氧化能力。定期的探针清洁和维护对于保证测试精度至关重要。一些先进的探针设计采用了可更换针尖的结构，降低了维护成本。
总之，GSG射频测试探针的选型是从测试频率、探针间距到探针类型和耐用性，每一个参数都直接影响着测试结果的可靠性和重复性。随着5G、物联网和毫米波技术的快速发展，对射频测试探针的性能要求也在不断提高。选择合适的GSG探针（如 Pasternack 射频探针）不仅能够提高测试精度，还能延长设备使用寿命，降低总体测试成本。

审核编辑 黄宇