MT6701、MT6816、MT6825、MT6835 等全系 隧道磁阻纳芯微TMR磁编码器,依靠片内空间交错排布的 TMR 传感单元搭建两组独立全差分惠斯通电桥,同步生成相位严格相差 90° 的 SIN、COS 正交差分模拟信号。正交差分架构从硬件根源解决单端信号零点漂移、共模干扰、角度象限模糊、温漂一致性差等工程痛点。本文从 TMR 单单元阻性特性、空间布局拓扑、惠斯通电桥差分输出机理、正交相位形成逻辑、非理想误差模型以及差分信号抗干扰内在机制逐层拆解,完整阐述正交差分信号从磁场矢量到差分电压输出的全过程,同时给出 PCB 布线与磁路装配配套设计要点,可直接用于硬件方案设计与算法调试参考。
艾毕胜电子代理的纳芯微磁编码器
一、TMR 单传感单元基础阻性响应特性
1.1 TMR 薄膜结构与阻值变化规律
单个 TMR 元件为三层纳米薄膜堆叠结构:钉扎 Pin 层 - MgO 绝缘隧穿层 - 自由 Free 层。Pin 层磁化方向固定不变,Free 层磁化矢量跟随外部旋转平面磁场同步偏转,两层磁化矢量夹角为$$thet$$。 隧穿电阻数学表达式: $$R(theta)=R_P+frac{Delta R}{2}left(1-cos2thetaright$$
$$R_$$:磁化平行态最小电阻;
$$Delta $$:最大电阻变化量;
TMR 磁阻变化率$$text{TMR Ratio}=Delta R/R_$$,纳芯微器件可达 200% 以上。
单个 TMR 元件阻值随外部磁场角度做二倍频余弦周期变化,仅能输出单路阻性信号,无法区分 0~360° 完整角度象限,同时单端输出极易受电源扰动、温度漂移、共模噪声影响,不能直接用于角度解算。
1.2 单 TMR 器件固有缺陷
无相位参考基准,无法判别磁场旋转方向;
温漂会整体抬升 / 降低阻值,信号零点持续偏移;
电源纹波、工频干扰会叠加有效信号,信噪比快速恶化。 纳芯微采用成对 TMR 单元反向配对 + 空间正交布局 + 差分电桥三重设计,一次性解决上述问题。
二、差分信号生成:双 TMR 反向配对惠斯通电桥原理
2.1 单路差分支路单元配对逻辑
同一组电桥内部集成两颗 TMR 传感元件,物理摆放位置相差 180°,外部旋转磁场作用下二者磁化夹角满足:$$theta_2=theta_1+p$$。 分别代入电阻公式可得: $begin{cases} R_1=R_P+dfrac{Delta R}{2}left(1-cos2thetaright)[4pt] R_2=R_P+dfrac{Delta R}{2}left(1-cos(2theta+2pi)right)=R_P+dfrac{Delta R}{2}left(1+cos2thetaright) end{cases}$ 两颗 TMR 阻值变化趋势完全相反:一颗阻值增大时另一颗同步减小,天然形成差分阻性对。
2.2 全差分惠斯通电桥电压输出推导
两颗反向 TMR 单元接入惠斯通电桥相邻桥臂,另外两个桥臂为片内匹配固定参考电阻,电桥供电电压为$$V_{DD$$。 电桥差分输出电压: $$V_{text{OUT}}=V_{+}-V_{-}=frac{V_{DD}}{2}cdotfrac{R_1-R_2}{R_1+R_2$$ 将$$R_1、R_$$代入化简: $$V_{text{DIFF}}=Acdotcos2thet$$ 工程中机械转角与磁场转角一一对应,电桥最终输出单路周期性交变差分电压。
2.3 差分架构核心优势
共模抑制能力极强 温度整体漂移、电源电压波动会同步改变两个配对 TMR 的阻值,差值$$R_1-R_$$几乎不变,共模干扰被硬件直接抵消,CMRR 可达 80dB 以上。
有效信号幅值翻倍 单端信号仅能取用单颗 TMR 阻值变化量,差分输出取阻值差值,信号幅值直接提升一倍,信噪比显著提升。
无需外部调零电路 器件批次一致性偏差、固有初始阻值偏差属于共模分量,差分运算自动消除,外围省去电位器、运放调零网络。
三、正交信号形成:两组电桥空间 90° 错位布局机理
3.1 双电桥空间排布方式
纳芯微芯片传感区域集成两套完全独立的差分惠斯通电桥:
SIN 电桥:一对反向 TMR 单元沿 Y 轴方向排布,拾取磁场矢量纵向分量;
COS 电桥:另一对反向 TMR 单元整体在晶圆平面上相对 SIN 电桥物理旋转 90° 排布,拾取磁场矢量横向分量。
外部径向充磁永磁体旋转时,平面旋转磁场矢量分解为 X、Y 两个正交分量,分别作用于两组电桥。
3.2 正交差分电压完整表达式
设电机机械旋转角度为$$theta_$$,两组差分电桥同步输出: $begin{cases} V_{text{SIN_DIFF}}=V_Acdotsintheta_m\ V_{text{COS_DIFF}}=V_Acdotcostheta_m end{cases}$ 两路信号满足:
幅值理论完全相等;
相位严格相差 90°;
均为差分双端输出,无直流共模偏移。
3.3 正交信号解决角度模糊核心逻辑
单独一路正弦 / 余弦信号只能判别 0~180°,存在 180° 角度镜像歧义;
正交两路信号构成极坐标矢量,通过 SIN、COS 正负组合可划分四个象限,唯一锁定 0~360° 完整绝对转角;
依靠两路信号幅值升降顺序,可直接判别磁场正转、反转方向,增量 ABI 脉冲方向判定无需额外逻辑。
四、片内信号链路:正交差分信号后端调理流程
纳芯微不会直接引出原始差分模拟信号,片内集成完整模拟前端 AFE,对两路正交差分信号统一处理:
差分仪表放大器 对 SIN、COS 差分电压分别做可控增益放大,修正两路信号幅值失配;MT6816 支持寄存器可编程增益,适配大范围磁场强度波动场景。
片内 RC 低通滤波 滤除电机 PWM 开关噪声、机械振动引入的高频磁场谐波,抑制高频毛刺干扰。
电平平移 将双极性正负差分交流信号抬升至单极性 ADC 采样量程内,适配片内同步 ADC。
双通道同步 ADC 并行采样 同一时刻锁存 SIN、COS 差分电压,杜绝分时采样引入的附加相位偏移,保证正交相位精度。
采样后的数字正交量送入硬件 CORDIC 运算单元,完成角度迭代解算,最终输出数字角度、ABI、UVW、SPI/PWM 等标准化信号。
五、正交差分信号典型非理想误差数学模型
实际晶圆工艺、装配磁路偏差会破坏理想正交差分关系,纳芯高端型号内置 OTP 校准单元针对性补偿,误差分类建模如下:
5.1 直流零点偏移误差
$begin{cases} V_{text{SIN}}=Asintheta+O_S\ V_{text{COS}}=Acostheta+O_C end{cases}$ $$O_S、O_$$为两路差分信号直流偏置,来源于 TMR 阻值失配、磁钢静态偏置,差分架构仅能抑制共模偏置,差模偏置需片内校准消除。
5.2 幅值不匹配误差
$begin{cases} V_{text{SIN}}=Asintheta\ V_{text{COS}}=Bcostheta end{cases},Aneq B$ 正交矢量轨迹由标准正圆畸变成为椭圆,引入周期性二次谐波角度误差。
5.3 正交相位偏离 90° 误差
$$V_{text{COS}}=Acos(theta+Deltavarphi$$ $$Deltavarph$$为实际相位偏移量,来源于晶圆光刻布局偏差、磁场斜入射,造成整圈角度周期性波动。
MT6816、MT6825 等工业级 TMR 芯片支持整圈旋转一键自校准,自动计算三类误差修正系数存入 OTP,上电自动补偿,恢复标准正交差分波形。
六、正交差分信号 PCB 布线与磁路配套设计准则
6.1 差分走线专属布线要求
若外置差分模拟走线:SIN_P/SIN_N、COS_P/COS_N 严格等长紧耦合走线,线长误差<0.2mm,全程平行,包地屏蔽,两侧加密接地过孔;
芯片 VSSA 模拟地与 VSSD 数字地独立分割,仅芯片引脚单点星形共地,杜绝功率地弹噪声耦合进差分模拟通道。
6.2 磁路装配保障正交性要点
必须采用径向充磁环形钕铁硼磁钢,轴向充磁无法生成平面正交磁场;
磁钢与芯片同轴偏心≤0.25mm,偏心会带来一次谐波畸变,破坏两路正交信号幅值对称性;
轴向气隙控制在 0.53mm,工作磁场维持在 2070mT 最优区间,保证差分信号幅值充足且不饱和。
七、总结
差分信号生成本质:两片空间反向排布的 TMR 单元接入惠斯通电桥,依靠阻值反向变化实现电压差分输出,硬件天然抑制温漂、电源扰动、共模干扰;
正交信号生成本质:SIN、COS 两组差分电桥在晶圆上物理错位 90°,同步拾取旋转磁场两个垂直分量,输出相位差 90° 的两路差分交变信号,彻底解决角度象限模糊问题;
工程落地价值:正交差分架构集成于芯片内部,外围无需搭建分立模拟电桥,大幅简化驱动板 BOM;搭配片内 AFE 与自校准功能,兼容云台、BLDC 伺服、机器人关节等强电磁干扰场景,是 TMR 磁编码器高精度角度检测的硬件底层核心保障。
审核编辑 黄宇
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