海瑞思科技HM系列RGA残余气体分析仪覆盖高端赛道

在半导体制造、真空镀膜、光伏、新材料及科研领域，残余气体分析仪（RGA）早已成为工艺开发、污染监测和真空诊断的重要工具。

过去很长时间里，高端RGA市场主要由海外品牌占据。然而随着先进制造产业快速发展，越来越多用户开始重新审视设备选型标准：不仅关注检测性能，更关注设备交付能力、系统集成效率、使用成本以及售后响应速度。

不少企业在实际使用过程中都遇到过类似问题：

设备采购周期长

关键耗材价格高昂

备件供应受海外供应链影响

软件功能难以满足本地化需求

现场服务响应周期长

当RGA逐渐从实验室工具走向产线监测设备，用户需要的已经不仅是一台检测仪器，而是一套能够长期稳定服务生产的解决方案。

基于这一市场需求，海瑞思推出HM-130、HM-150、HM-230三大系列RGA产品，以自主研发的四极杆质谱技术为核心，覆盖超高真空检测、高压工艺监测以及在线多压力工艺分析等应用场景。

01海瑞思RGA三大系列覆盖高端赛道

结合市场主流产品定位，海瑞思三大系列RGA划定精准覆盖高性能、高压力、多压力三大主流应用赛道，直面海内外头部品牌竞争。 

HM-130高性能RGA系列

HM-131/HM-132/HM-133残余气体分析仪

该系列是面向高端精密检测的主力机型，质量范围包括 1~100/1~200/1~300 amu，全面覆盖主流气体检测需求，核心参数达到国际一线水准。主攻超高真空、高精度痕量气体检测场景，适配半导体高端制程、航空航天、粒子加速器、高端科研等领域。 

HM-150高压力RGA系列

HM-150/HM-151高压力残余气体分析仪

该系列聚焦中高压真空工况，针对溅射、蒸镀等高压工艺优化设计，最大工作压强可达2Pa，适配多种设备真空泄漏检测，真空镀膜工艺监测，半导体PVD、CVD、ALD工艺监测场景。

HM-230多压力RGA系列

HM-231/HM-232/HM-233多压力残余气体分析仪

该系列为集成式在线质谱分析仪，由HM-130核心检测模块搭配自研真空系统、进样系统组合而成，主打超宽压力区间在线监测，自主开发软件智能化程度高，聚焦 CVD、PVD、ALD、刻蚀等半导体全制程工艺监控。

02RGA系列竞品对比分析

 

 

03海瑞思HM系列核心竞争力

很多客户在选购RGA时，最关心的问题其实只有三个：

性能是否达到要求？

设备能否稳定交付？

后期使用成本是否可控？

从上述维度来看，相较于海外品牌、国内同类竞品，海瑞思 HM-130/HM-150/HM-230 三大RGA系列形成技术、供应链、成本、集成、服务、定制六大核心壁垒，是当下高端RGA的优质选择：

性能对标国际一线，精度稳定可靠

三大系列核心检测指标（灵敏度、最小可检测分压、分辨率、响应速度）全面对标国际一线品牌，部分参数实现超越；抗污染离子源、耐腐蚀灯丝、双检测器等硬件设计适配半导体、新能源等行业严苛工况，长期运行漂移小、无需频繁校准，量产稳定性经客户验证。 

核心技术自研，供应链自主可控

从离子源、四极杆、电子倍增到整机电路、控制软件，所有核心部件实现自主研发量产，彻底打破海外技术垄断与供应链卡脖子问题，无惧海外供货限制，批量供货能力强劲。

成本优势突出，全生命周期降本

设备采购价格、灯丝、倍增器等耗材成本远低于进口品牌；同时布局进口设备兼容耗材方案，可直接替换海外品牌高价耗材，帮助客户大幅降低设备全生命周期使用成本。

集成能力强大，适配智能工厂

全系产品支持IP自定义、以太网通讯、实时数据上传，可无缝对接自动化产线，快速融入数字工厂；模块化设计安装便捷，可适配不同现场布局。

智能软件赋能，降低使用门槛

搭载自主研发分析软件，内置标准图谱库，实现气体自动定性+定量分析；自动检测、异常数据报警等功能，大幅降低操作人员学习成本。 

本地化服务，支持个性化定制

依托本土服务团队，提供快速上门安装、调试、维修、校准服务，售后响应效率远超海外品牌；同时支持硬件接口、软件功能、通讯协议、安装结构等个性化定制，满足不同客户、特殊工况的差异化需求。

04海瑞思以自主创新驱动高端质谱技术发展

RGA作为先进制造的重要过程分析工具，其价值不仅在于检测能力，更在于能否持续支撑工艺优化和产线稳定运行。

海瑞思HM-130、HM-150、HM-230三大系列产品，已形成覆盖超高真空检测、高压工艺分析以及在线工艺监控的完整产品矩阵。

在核心性能达到国际先进水平的同时，实现了自主研发、快速交付、本地服务和全生命周期成本优化，为半导体、真空镀膜、新能源及科研用户提供了更具竞争力的新选择。

目前海瑞思RGA新品试机活动正在进行中，我们为您提供：

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欢迎联系海瑞思技术团队，体验国产高端RGA的实际表现。