文章来源:老千和他的朋友们
原文作者:孙千
本文介绍了光与电的转换逻辑。
处理电信号的半导体微芯片特点是输入为电信号、输出也为电信号。光子器件的核心是光子,其主要特征为输入是电信号(能量)、输出是光信号(辐射),或输入是光信号、输出是电信号。
光子器件可分为三类:(i)将电能转换为光辐射;(ii)通过电子技术探测光信号;(iii)将光辐射转换为电能。要理解这类器件,需掌握光的基本特性和发光原理。本文将介绍这些基本特性与原理、自发辐射和受激辐射的区别,以及相关器件。
发光器件与发光原理
光子器件有时也称为光电子器件,在这类器件中,光子发挥关键作用。尽管光也是电磁波的一部分,但它的频率远高于用于无线电通信和雷达的射频(RF)与微波。由于光子波长更短、能量更高,它们在半导体中会产生一些特殊现象。
人类对光的利用可追溯至古代,火炬、蜡烛和油灯作为照明工具已伴随人类数千年。但光电子技术的真正诞生,源于电灯的发明。托马斯・阿尔瓦・爱迪生(Thomas Alva Edison,1847—1931)于 1879 年发明了白炽灯(电灯泡),开启了电能向光辐射转换的时代。图1 展示了一些我们常用的白炽灯。
1960 年,西奥多・H・梅曼(Theodore H. Maiman,1927—2007)和戈登・古尔德(Gordon Gould,1920—2005)发明了世界上第一台激光器——红宝石激光器,如图2 所示。尽管白炽灯和激光器均能将电能转换为光辐射,但它们的发光机制不同:白炽灯是自发辐射,激光器是受激辐射。
西奥多・H・梅曼发明的世界第一台红宝石激光器实物图,核心部件为红宝石晶体棒和泵浦闪光灯,开启了激光技术的时代。
从能级或能带的角度来看,发光是电子从激发态的高能级跃迁到低能级,释放出能量等于两能级差值的光子。电子被激发,从低能级跃迁到高能级,可通过晶格的热冲击或吸收光子能量实现。当电子跃迁至高能级后,若自发跳回低能级并释放光子,这种发光方式称为自发辐射;若电子在能量与能级差值相同的光子触发下跳回低能级,此时会释放出两个光子,这种发光方式称为受激辐射,发出的光即为激光。
从激光的发射过程来看,激光是一种光子放大器。事实上,“laser” 一词是 “light amplification by stimulated emission of radiation”(受激辐射光放大)的缩写。激光器发出的光子具有相同或相似的物理特性,这类光称为相干性好的光。与之对应,自发辐射光源发出的光相干性较差。图3是自发辐射与受激辐射的差异示意图。受激辐射理论由爱因斯坦于 1917 年提出。

图3 电子在能级 E₁和E₂之间的三种跃迁过程(图注:黑点代表电子,左侧标注 “Before” 的为初始状态,右侧标注 “After” 的为跃迁状态:(a)吸收光子;(b)自发辐射;(c)受激辐射。)
白炽灯的发光原理是电流通过灯丝产生热量,使灯丝达到高温后发光,属于热辐射(自发辐射的一种)。红宝石激光器的核心是红宝石晶体棒,通过闪光灯泵浦使晶体中的铬离子被激发,进而产生受激辐射,输出激光。
前文提到,晶体管发明的初衷是用固态器件替代真空(玻璃)管。半导体晶体管发明后,人们自然会问:能否用半导体制造发光器件?能否用这种器件替代白炽灯、制造更小的激光器?答案是肯定的。后来,多种半导体光子器件被发明出来。
本文开头将这类器件分为三类:第一类是电光转换器件,包括发光二极管(LED)、二极管激光器和晶体管激光器;第二类是光信号探测器件,如光电探测器;第三类是光电转换器件,包括光伏器件和太阳能电池。
LED 是替代白炽灯、制造显示面板和 LED 电视的基础器件;二极管激光器是光纤通信、激光打印机、光盘(CD)、数字通用光盘(DVD)和激光笔的基础器件(见图5);光电探测器是光盘播放器、数码相机和光纤通信的基础器件;光伏器件和太阳能电池是制造太阳能电池板的基础器件。
图5 光纤(图注:光纤的实物图,包括单根光纤和光纤线缆,是激光传输的关键载体,广泛用于光纤通信系统。)
图6 数码相机(图注:佳能、柯达等品牌的数码相机实物图,其核心成像部件为基于半导体光子探测技术的图像传感器。)
2 发光二极管(LED)
半导体的能带结构分为两种:直接带隙和间接带隙。被激发到导带的电子是不稳定的,会跳回价带与空穴复合,同时释放光子,这个过程称为电子-空穴复合。图8 是直接带隙和间接带隙半导体中电子-空穴复合与光子辐射过程的示意图。图中E为能量,k为波数,由k构成的空间称为k空间,是固体物理中常用的空间单位,其关系为:k=2π/λ。

图 直接带隙(a)和间接带隙(b)半导体中电子-空穴复合与光子辐射的示意图(图注:(a)电子直接从导带跳回价带,与空穴复合并释放光子;(b)电子与晶格碰撞后,间接从导带跳回价带,与空穴复合并释放光子。)
要进一步理解图中的复合与辐射过程,需引入动量的概念。动量用 P 表示,在牛顿力学中,P 是质量m与速度v的乘积:P=m·v。在封闭系统中,系统与外界无物质和力的交换,其总动量为常量,这就是动量守恒定律。

图动量守恒定律(图注:两个球体碰撞前后的动量守恒示意图,碰撞前总动量为 m₁v₁+m₂v₂,碰撞后总动量为 m₁u₁+m₂u₂,满足动量守恒关系 m₁v₁+m₂v₂=m₁u₁+m₂u₂。)
下图是两个球体的动量守恒示意图,图中碰撞后速度用u表示。若一个球撞击墙面,在撞击角θ为 0°-90° 的范围内,会出现三种情况(见图10):情况 a 是球垂直 90° 撞击墙面,此时产生的动量最大;情况b是球以一定角度θ撞击墙面,此时产生的动量较小,且θ越小动量越小;情况c是撞击角为0°,此时动量也为 0°。一般来说,动量越大,撞击作用越强;动量越小,撞击作用越弱。动量的概念非常重要。

图球撞击墙面的三种情况(图注:a 为垂直 90° 撞击,动量最大;b 为一定角度 θ 撞击,动量随 θ 减小而减小;c 为撞击角 0°,动量为 0。)
在量子力学中,微观粒子也具有动量。法国物理学家路易・维克多・皮埃尔・雷蒙德・德布罗意(Louis Victor Pierre Raymond de Broglie,1892—1987)指出,所有物质都具有波粒二象性。在微观世界中,粒子的动量通过德布罗意关系表示:p=h/λ,式中 λ 为德布罗意波长,可改写为:p=hk ,其中h=h/2π,h称为约化普朗克常量,h 为普朗克常量。
量子力学中,微观粒子的动量也守恒。
再看图8:直接带隙半导体(如砷化镓、磷化铟等)的能带结构中,导带最低点与价带最高点在 k 轴上的位置相同。被激发到导带的电子会趋向导带的最低能量点,此时电子会直接从导带跳回价带,与空穴复合并释放光子,这种能带结构的发光效率高(见图8a).
间接带隙半导体(如硅、锗)的能带结构中,导带最低点与价带最高点在 k 轴上的位置不同。导带中的电子首先与晶格碰撞,动量守恒且损失部分能量,随后进入 k 轴上与价带最高点相同的位置,再跳回价带与空穴复合并释放光子。由于与晶格碰撞损失了部分能量,间接带隙半导体的发光效率低(见图8b)。图中的 “声子(Phonon)” 用于描述电子与晶格的碰撞过程。
常用化合物半导体的一个重要特征是其能带大多为直接带隙结构。因此,这类半导体被广泛用于制造第一类光子器件——发光器件(如LED和激光器)。这两种器件如今在社会中广泛应用,因其成本低、效率高、频谱宽、驱动电路相对简单、可靠性高且使用寿命长。LED发明于1962年,当年尼克・霍洛尼亚克和S.F. 贝瓦夸研制出了能发射可见红光的LED。
LED的发光属于自发辐射,其基本结构为二极管。当施加正向电压时,电子扩散到P区,空穴扩散到 N 区;到达P区的电子与空穴复合并释放光子,到达 N 区的空穴与电子复合也释放光子,这类器件实现了电能到光辐射的转换。与普通二极管相比,LED 的设计有一些特殊考量,其发光方式分为面发射和边发射(见图12)。图中的 “n⁺”“p⁺” 分别表示 N 型重掺杂和 P 型重掺杂。

图12 LED 的基本结构(图注:展示了面发射 LED 和边发射 LED 的结构示意图,核心为 n⁺、n、p、p⁺的半导体层结构,通过电子-空穴复合产生光子,分别从表面或边缘射出。)
LED 芯片封装在圆顶形塑料外壳中(见图13)。

图13 LED 的产品(a)和结构(b)(图注:(a)LED 的成品外观,包括引脚和透明塑料外壳;(b)LED 的内部结构,包含 LED 二极管芯片、引线、透明塑料外壳和引脚,芯片发出的光通过透明外壳射出。)
要进一步理解 LED,需介绍电视中的三基色 —— 红、绿、蓝。这三种颜色混合可得到白色(见图14),这意味着若要用 LED 替代白炽灯或制造电视,需要红、绿、蓝三种颜色的 LED。
三基色(图注:红、绿、蓝三种基色的混合示意图,展示了三种颜色两两混合及三者混合产生的颜色效果,是 LED 显示和照明的色彩基础。)
从光的波长分析所需的半导体带隙:红光波长为620-750nm,绿光为495-570nm,蓝光为450-495nm。波速V、频率f和波长λ的关系如下:V = λf。在量子力学中,频率用ν表示,光速用C表示(C是“constant” 的首字母)。结合普朗克常量h=4.134 ×10-15 eV/s,可计算得出:红光对应的能量 E=1.65-2.00eV,绿光 E=2.17-2.51eV,蓝光 E=2.51-2.76eV。
纯III-V族材料不易制造 LED,通常在III-V族衬底上生长三元化合物材料作为发光区。对于红光和绿光 LED,所用材料为砷化镓(GaAs)、磷化镓(GaP)及其对应的三元化合物GaAs1-xPx。GaAs 是直接带隙,带隙Eg=1.42 eV;GaP 是间接带隙,带隙Eg=2.26 eV。当 x 从 0 变化到 1 时,GaAs1-xPx的带隙从 1.42eV 变化到 2.26eV;当 x=0.45 时,能带从直接带隙转变为间接带隙。
1962 年,尼克・霍洛尼亚克利用GaAs1-xPx制造出了红光 LED;1967 年,霍洛尼亚克的学生乔治・克拉福德利用生长在 GaAs 衬底上的 GaAsP 制造出了橙色、黄色和绿色 LED 。为提高GaP间接带隙的发光效率,需在该材料中添加特殊杂质,以提高电子与空穴的复合率。
红光和绿光 LED 发明后,蓝光 LED 的研究进展缓慢。GaAs1-xPx无法满足蓝光需求,因其最大带隙小于蓝光波长对应的能量。基于氮化镓(GaN)衬底的三元化合物铟镓氮Inx Ga1-xN被用于制造蓝光 LED 的发光区,该材料由 GaN 和氮化铟(InN)混合而成。GaN和InN 均为直接带隙,InGaN 的带隙可从GaN的 3.4eV变化到InN的0.69eV,覆盖了蓝光的能量范围,能够满足蓝光 LED 的制造需求。
然而,GaN 材料的制备面临诸多困难。直到 20 世纪 80 年代末 90 年代初,三位日本科学家中村修二、天野浩和赤崎勇突破了GaN衬底制备的技术瓶颈,发明了基于GaN的蓝光LED。
蓝光LED的发明使三基色中最后一种光源得以问世,用固态光源LED替代白炽灯成为可能,并推动了新型电视——LED 电视的发展。LED 电视通过三基色比例调节色彩,而 LED 灯泡则利用蓝光 LED 发出的光激发灯泡内的荧光材料,将LED的蓝光转换为白光。当代白光 LED 灯泡的电能到光辐射的转换效率可超过50%,而普通白炽灯的转换率仅为 4%;LED 灯泡的使用寿命可达10万小时,而荧光灯为1万小时,白炽灯仅为1000小时。
3 半导体二极管激光器
前面讨论了 LED,这里将介绍二极管激光器(又称激光二极管)。如前文所述,激光是一种光子放大器,具有良好的相干性。要理解相干性,需简要介绍光的相干性概念。
在物理学中,两束波的良好相干性意味着它们的频率和波形相同,且相位差恒定。图15 是两束波的相位差示意图,图16 是相干光与非相干光的示意图。图中单色光指频率相同的光波,激光属于单色光。

图15 两束波的相位差

图16 相干光与非相干光的示意图(图注:上部分为相干波,波形、频率一致且相位差恒定;中间为非相干单色波,频率相同但相位差无规律;下部分为非相干多频波,频率和相位均无规律。)
由图3 可知,要实现激光发射,需满足三个条件:粒子数反转、阈值电流密度和共振腔,且增益需超过总损耗,这一条件决定了注入二极管结的电流密度阈值 —— 半导体器件产生激光所需的最小电流密度,称为阈值电流密度。
下面逐一解释这三个条件:
3.1 共振腔
激光器中的共振腔可产生激光振荡,最常用的结构是法布里-珀罗(Fabry–Perot)共振腔,又称法布里-珀罗干涉仪,由法国物理学家夏尔・法布里(Charles Fabry1867 —1945)和阿尔弗雷德・珀罗(Alfred Perot,1863—1925)于1899年研制而成。
该共振腔通常由两块平行的透明板加反射面或两块平行反射镜组成,光通过在两个表面多次反射形成驻波。驻波是局限于两块平行反射面之间的波,随时间振荡但不随空间传播,与之对应的是随空间传播的行波。图17是法布里 - 珀罗共振腔的结构示意图。

图17 法布里 - 珀罗共振腔的结构(图注:由两块相对的反射镜组成,入射光在反射镜之间多次反射形成驻波,不同角度的光会发生相长干涉或相消干涉,实现光的选频和放大)
要进一步理解其工作原理,需了解波的干涉现象。波是振动的传播,当两束波在传播路径上相遇时,相遇区域内波的振幅在某些地方加强、某些地方减弱,这就是波的干涉现象。只有两束振幅和频率相同的波相遇,才能产生稳定的干涉,这类波称为相干波。当两束波的波峰与波峰、波谷与波谷相遇时,叠加后的波峰和波谷更大;当波峰与波谷、波谷与波峰相遇时,叠加后的波峰和波谷相互抵消。
图18 展示了这两种情况。实际的干涉现象比这两种简单情况复杂得多,还存在多束波的相干现象。

图18 两束波的干涉示意图
日常生活中经常能遇到波的干涉现象,图19 拍摄于一个小湖,当时湖中几只加拿大鹅引起的水波发生了干涉,从图中可清晰看到水波在某些区域加强、某些区域减弱。
图19 水波的干涉(图注:小湖中水波相互干涉的实拍图,展示了波干涉时振幅加强和减弱的区域,呈现出明暗相间的干涉条纹。)
前文提到了光束的反射,除反射外,光的另一个重要特性是折射。我们常见的反射是镜面反射,光束在不同传播介质的界面处既会发生反射,也会发生折射。以空气和水两种透明介质为例进行讨论:当一束光以与界面法线成 θ₁角入射到水面时,θ₁称为入射角;部分光被水面反射,沿法线另一侧以相同角度反射(光的反射定律);部分光进入水中,在水中的角度为 θ₂(θ₁≠θ₂),θ₂称为折射角,这就是光的折射现象。
光在不同介质中的传播速度不同,若 V₁表示光在空气中的速度,V₂表示在水中的速度,则光在两种不同介质中的传播满足以下公式:

式中 n₁和 n₂分别为光在空气和水中的折射率,通常折射率用 n 表示。常用的折射率数值为:真空 n=1,水 n≈1.33,石英 n≈1.45 ,空气的折射率近似为 1。该公式称为斯涅尔定律,以纪念荷兰天文学家威勒布罗德・斯涅尔(Willebrord Snellius,1580—1626)。式中的 sinθ₁和 sinθ₂分别为入射角和折射角的正弦函数。

图20 光的反射与折射
水的折射率大于空气,因此水称为光密介质,空气称为光疏介质。根据公式,θ₁>θ₂。我们可以想象,若光从光密介质(如水)射向光疏介质(如空气),当入射角 θ₁从小变大时,折射到空气中的光会向水面倾斜,直到 θ₁超过某一数值,光束将完全折射回水中。此时,尽管水面并非理想镜面,仍会发生全反射,称为全内反射。使折射光产生全内反射的入射角称为临界角(见图21)。

图21 折射光的临界角
半导体中,制造共振腔的常用方法有两种:(i)镜面共振:通过沿垂直于 p-n 结的方向解理制备反射镜,或将垂直于 p-n 结方向的表面抛光制成反射镜;(ii)异质结全内反射共振:利用异质结,在两种折射率不同的材料界面处通过全内反射形成共振腔,这两种材料分别作为光密介质和光疏介质来约束光。半导体激光器中,这两种共振腔通常结合使用。下面讨论异质结。
3.2 异质结材料
前文讨论的所有器件均由同质结材料制成,即器件仅使用一种材料(如硅、砷化镓等)。实际上,还可采用异质结技术制造器件,该技术广泛应用于 III-V 族半导体。
异质结技术是将两种带隙宽度不同的材料结合在一起形成 p-n 结,与同质结材料不同(见图22)。

图22 p-n 异质结的示例(图注:展示了两种不同带隙宽度的半导体材料形成的 p-n 异质结的能带结构示意图,标注了两种材料的导带底、价带顶和带隙宽度 E₉₁、E₉₂。)
异质结技术由赫伯特・克勒默(Herbert Kroemer)首先提出,其重要优势之一是器件的工作速度更快。如今,太赫兹(THz,1012Hz))是一个常被提及的概念,太赫兹器件就采用了异质结技术。另一个优势是两种材料的折射率不同,可制成法布里-珀罗共振腔(见图23),而同质结由于折射率相同,无法制成共振腔。图中的法布里-珀罗共振腔具有两个异质结,因此该结构称为双异质结(DH)激光器。

图23 异质结制成的法布里 - 珀罗共振腔的基本结构示意图(图注:由两层光疏介质(ninactive)和中间的有源区(光密介质,nactive>ninactive)组成,光在有源区与光疏介质的界面处发生全内反射,实现光的约束和振荡。)
在这种结构中,光被限制在有源区(光密介质)内,该结构也称为波导。光纤就采用了波导结构(见图24),光纤的纤芯由玻璃或塑料制成。图25 是 p-n 双异质结激光器的示意图,其中铝镓砷(AlGaAs)的折射率低于砷化镓(GaAs)。

图24 光纤的结构(a)和光纤线缆(b)(图注:(a)光纤的横截面结构,包括纤芯(n₁)、包层(n₂,n₁>n₂)、涂覆层和护套,纤芯与包层的折射率差实现光的全内反射传输;(b)由多根光纤组成的光纤线缆实物图。)

图25 双异质结(DH)激光器的示意图(图注:核心结构为有源区(p 型 GaAs),两侧为 n 型 AlGaAs 限制层和 n 型 GaAs 衬底,金属电极用于施加正向电压,使有源区产生受激辐射,输出激光。)
前文讨论了半导体激光器的简单结构,实际的激光器结构更为复杂,包括量子阱激光器、量子点激光器、垂直腔面发射激光器等,本节不再深入讨论。
3.3 粒子数反转与阈值电流密度
前文介绍了法布里-珀罗共振腔,现在讨论粒子数反转。对于二极管激光器,激光产生的本质是正向 p-n 结中载流子的流动以及电子与空穴的复合。热平衡状态下,激发态的载流子(主要是电子)数量始终少于基态的载流子数量。粒子数反转指激发态的载流子数量多于基态的载流子数量。
此时,能量为hv12的光子入射到 p-n 结中,会触发这些处于激发态 E₂的电子跳回基态 E₁并与空穴复合,从而产生更多能量为hv12的光子,受激辐射的光子数多于吸收的光子数,这种现象称为量子放大。二极管激光器中,这种量子放大在法布里-珀罗共振腔内进行。
电子在激发态的寿命很短,即电子只能在激发态停留很短的时间。为确保粒子数反转和量子放大,正向注入的电流必须足够大,且电流需超过阈值,使光子增益大于光子损耗。我们常用阈值电流密度 Jₜₕ表示这一阈值(“th” 表示 “threshold”)。通常,电流密度用 J 表示,指单位面积通过的电流。对于激光器的使用,Jₜₕ越小越好。J=I/A。
结合镜面反射、异质结共振、粒子数反转和阈值电流密度等技术,即可制成二极管激光器(见图26)。图中虚线为异质结界面,与 p-n 结平行;垂直于这些界面的一侧制成全反射面,另一侧制成部分反射面,激光从部分反射面射出(激光输出)。该结构与图17的法布里 - 珀罗共振腔结构相似。

图26 二极管激光器(图注:由 p 型和 n 型半导体材料形成 p-n 结,异质结界面平行于结面,一侧为全反射面,另一侧为部分反射面;施加正向电压后,电子与空穴在有源区复合产生受激辐射,激光从部分反射面输出,外部电路提供载流子注入。)
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