使用致真精密仪器晶圆级原子力显微镜Atom Max的测样案例

本期致真精密仪器测样案例，通过Atom MAX 晶圆级原子力显微镜磁力显微模式（MFM）对Fe3GaTe2二维材料样品开展微观磁畴表征。

▲致真精密仪器AFM在MFM模式下测得的相位磁畴分布图

结果简述：

样品表面呈现相互交织贯通的迷宫型纳米磁畴形貌。大量蜿蜒弯曲的畴壁横跨观测区域，表面呈现出磁化方向交替排布的纳米微区；相位图中的明暗衬度源于磁性探针针尖与样品表层局域杂散磁场间的磁偶极相互作用，不同衬度区域分别对应面外磁化取向互逆的磁畴单元，直观展示了该二维拓扑磁性体系特有的迷宫畴空间构型。

仪器和参数
样品名称	Fe3GaTe2二维材料
测试机型	Atom Max 晶圆级原子力显微镜
表征模式	磁力显微镜（MFM）
探针型号	NSC18/Co-Cr
扫描区域	5 μm × 5 μm
扫描分辨率	256 × 256

 商业应用场景

本样品 MFM 表征结果可支撑自旋电子器件、量子传感、热电与红外探测等三大领域研发：

自旋存储：直观观察纳米磁畴，优化薄膜工艺，研发低功耗存储芯片。

量子传感：解析二维磁性微观结构，助力高灵敏度弱磁探测、量子器件研发。

热电与红外探测：揭示磁序与输运的耦合机制，通过磁畴调控优化材料的热电转换与红外响应。

 科研应用场景

二维拓扑磁性体系是凝聚态物理前沿核心研究对象，依托 MFM 表征可开展多项基础实验：

本征拓扑磁性成因、纳米磁畴生长与动态演化规律探究。

斯格明子、拓扑畴壁等新型微观自旋结构观测分析。

磁畴构型对拓扑表面态输运及自旋-热电转换效应的调控机制探究。

晶圆级原子力显微镜Atom Max

Atom Max晶圆级原子力显微镜利用微悬臂探针结构可对导体、半导体、绝缘体等固体材料进行亚纳米级三维扫描成像，可实现晶圆级大样品形貌表征。电动样品定位台与光学图像相结合，可在200×200 mm区域实现1 µm的定位精度，光学结构与扫描头集成一体，自动化程度高，操作便捷。

致真精密仪器

致真精密仪器聚焦高端科学仪器与集成电路测试设备的技术突破与自主研制，深耕微纳表征、磁学测量、低温强磁物性表征、半导体量检测等领域，通过核心技术攻关与工程化落地，已成功推出系列高端科研级设备与产业级解决方案：

科研级核心设备：原子力显微镜（微纳形貌表征核心设备）、高精度 VSM（振动样品磁强计）、磁光克尔测量系统、常温/变温磁场探针台系列、低温强磁场光学测量平台等；

产业级解决方案：晶圆级MOKE测量仪、隧穿磁阻比率测量仪、自旋芯片FT测试机等量检测设备。

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