半导体的朋友-探针台

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系统特性：

ZFT-78-50A是一个经济型的高真空探针台，它除了有探针台的基本功能外，还能为测试提供高真空与特殊气体环境；它可以提供足够多的备用接口，可作为光学，电学，气体导入等实验提供接口。国际通用的接口设计，让系统的升级更加容易。该系统是超高真空探针台，极限真空在1*10-4Pa以上。被测器件的最大尺寸可达到50mm(2inch)。它可以为材料或器件的电学特性测量、光电特性测量、参数测量、high Z测量、DC测量、RF测量和微波特性测量提供一个测试平台。系统的探针、测试电缆、样品架都有多种类型可供选择，从而满足不同应用的需要。
系统适用于实验室级别的精准电学特性测量和分析。
半导体特性分析
系统支持脉冲式的半导体特性分析。
适用于材料、热敏感器件和先进存储芯片等技术研究。
与电测产品集成精确、可重复的脉冲和DC测量于一体的解决方案。
国际通用的真空接口设计，使未来的扩展与升级更加容易。
变温范围从-196℃~400℃
极限真空在1*10-4Pa以上
应用领域：
半导体器件：片上参数测试、晶圆级可靠性、封装器件的特性分析、C-V、I-V特性分析、易受自加热效应影响的器件和材料的等温测试 ；
光电器件：半导体激光二极管特性分析 、 收发模块DC/CW特性分析 PIN和APD特性分析 ；
科研应用：碳纳米管特性分析，材料研究，电化学；
ZFT真空探针台涵盖所有标准应用：包括C-V、C-t、及C-f量测与分析，支援高与低K介电系数结构、MOSFET、BJT、二极体、快闪记忆体、光伏特元件、III-V族复合元件、以及奈米碳管(CNT)元件分析等。
一、基本配置：

 四个针座、真空腔、样品台、分子泵机组、显微镜、控温仪、液氮杜瓦、电磁铁、特斯拉计、电缆管线、和探针等必要附件。
二、主要性能和技术参数：
1、针座
★1.1 针座数量：4个；
★1.2系统漏电：＜300fA；
 1.3 探针台外部接头到探针使用三同轴连接;
 1.4调节范围：X ZY方向25mm；
 1.5探针具有50欧姆传输电阻设计，为射频测试提供良好的阻抗匹配；
 1.6前后端均为国际通用的CF35标准法兰，信号线的任意更换。
2、样品台
★2.1 工作温度：-196℃ ~ 400℃连续可调；
▲2.2 尺寸：50*50 mm；
 2.3 控温稳定性：优于0.5℃