MEMS加速度计的工作原理及设计方法

演示文稿中介绍了加速度在生活中的现象，并基于生活中的加速度现象引申到MEMS加速度计的工作原理。详细介绍了胡克定律和牛顿第二定律，以及如果结合这两个定律来推导出加速度的测量方法。演示文稿中还给出了芯片级加速度计的运动示意，以及它的一些设计方法，难点和信号链。