2018年,南昌高新区在全省100个开发区综合考评排名中位列第一名,这份靓丽的成绩单离不开区内企业的功劳。在不久前召开的2019年经济工作暨科技创新大会上,高新区拿出近亿元资金创新性地重奖全区“工业十强、服务业十强、高成长性十佳、纳税十强、出口创汇十强、科技创新十佳”企业。他们是产业经济的领跑者,是技术创新的佼佼者,他们奏响了南昌高新区新时代高质量发展的最强音。为弘扬正能量,引领发展潮流,南昌高新区推出《聚焦十强》栏目,一一展示这些企业的风采。
今天我们推出“高成长性十佳”企业——南昌中微半导体设备有限公司。
在2018年,南昌中微半导体设备有限公司(以下简称“南昌中微”)实现了全面投产,达到年产不少于100台MOCVD设备的能力,并获得MOCVD设备订单208腔,实际销售118腔。同样在2018年,南昌中微实现产值10.46亿元,确认销售收入4.41亿元,在国内蓝光LED设备市场占有率已超过了85%...这一项项成果见证了南昌中微在2018年取得的辉煌成就,见证了南昌中微正逐步成为国内LED产业龙头企业。
近年来,高新区在国家部委及省市的大力支持下,紧紧围绕LED产业发展,以建设南昌光谷、打造中国品牌为目标,依靠创新驱动和创新招商模式,瞄准MOCVD高端设备制造前沿领域,于2017年引进成立了南昌中微半导体设备有限公司,重点研发用于半导体照明和功率器件芯片生产的MOCVD设备。
南昌中微落户高新区后,LED产业集聚效应逐步显现,高新区从而打造了从MO源、衬底材料、外延、芯片、封装、终端应用到MOCVD核心关键生产设备等拥有自主知识产权的LED完整产业链,并已成为全国唯一拥有全产业链原创技术自主知识产权的开发区。
作为国家集成电路产业投资基金首个投资企业,中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”)成立于2004年,是国内半导体和集成电路制造装备产业的领军企业,旗下芯片制造前道等离子刻蚀设备(D-RIE)、硅通孔设备(TSV)和金属有机物化学气相沉积设备(MOCVD)这三大产品在各自的细分领域都位居世界前三强。截至目前,中微半导体设备(上海)股份有限公司申请专利1200多项,其中957项已获得授权。
中微公司自主研发生产的Prismo系列MOCVD设备,是国内最早成功进入多家主要LED和功率器件生产企业生产线并实现大规模量产的设备。精准的参数控制、全自动的装卸和生产过程、简便的操作与维护、可连续加工100批次以上不需要开腔清洁等突出优点,以及符合SEMIS2标准的设计,使中微的MOCVD设备在生产线上具有高可靠性、高重复性和高生产良率等特点和表现。中微MOCVD设备Prismo A7®是目前世界上单炉LED产能最高、单位能耗最低的MOCVD机台,其他各项技术指标也均已达到了目前世界先进水平。
中微MOCVD高端装备在高新区的落户,不仅打破了国外技术的垄断,而且补齐了高新区LED产业链,并有助于打造大国重器产业链。MOCVD除了应用于蓝光外,也将延伸到其它应用,例如深紫外和功率器件等第三代半导体应用。至此,南昌高新区不仅拥有了LED核心技术,也拥有了国内自主知识产权的MOCVD设备;接下来,中微公司将有计划增加新设备制造到南昌中微基地,包括集成电路刻蚀机台,并加大设备研发投入,将南昌高新区打造成为国内最先进的微观加工设备产业链基地。
下一步,南昌高新区将积极促进中微公司生产基地上下游供应链企业落户南昌,推动形成半导体高端设备制造的产业集群,引领南昌打造成为全球最重要、规模最大的高端MOCVD装备制造基地。同时,南昌中微MOCVD装备制造也将为江西LED产业的核心竞争力注入新的血液,将助推“南昌光谷”成为中国规模最大、技术水平最高、产业链最完整的LED生产基地。
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