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2010-12-15
王兰
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平板显示已经成为人们日常生活与生产中不可或缺的必需品之一。其产业地位、技术含量
以及对国民经济发展的带动作用，已经可与集成微电子学的地位相比拟，成为新兴的产业和学
科。它的技术或学科基础，是以薄膜晶体管（TFT）为单元的大面积薄膜微电子学。图1 示出[1]
以晶体管为基本器件单元的微电子技术的发展历程与以薄膜晶体管为基本概念的技术发展历程
的比较。该图清晰看出两者起步的时间相隔并不遥远。然而薄膜材料与器件技术的难度，使得
它进入产业化的时间，却比晶体硅集成电路的产业化发展历程要艰难得多。
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